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公开(公告)号:CN116130326A
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN202211646418.0
申请日:2022-12-21
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明公开了一种新型离子源射频中和器,包括:箱体,箱体内设置有绝缘电离腔体,绝缘电离腔体设置在箱体的中部,绝缘电离腔体的一端设置有离子出射孔,绝缘电离腔体的另一端连接有电极接头,电极接头的末端连接有输气管,输气管上连接有充气腔,充气腔上连接有连接管,连接管上安装有控制阀,连接管的末端连接有储存箱;充气腔内设置有充气座、充气管和充气孔;电子发生装置由不锈钢外壳、钨丝和电子出射孔组成;所述钨丝连接有电源,钨丝设置在不锈钢外壳的内部,不锈钢外壳上连接有负电;冷却箱固定在箱体的外侧,冷却箱内放置有冷却管,冷却管外侧的冷却箱内填充有冷却液;该新型离子源射频中和器使用方便,并且提高了使用寿命。
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公开(公告)号:CN115961236A
公开(公告)日:2023-04-14
申请号:CN202211646202.4
申请日:2022-12-21
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明涉及真空镀膜系统技术领域,且公开了全自动光学光控真空镀膜系统,包括底座,所述底座的内部固定设置有加固垫,所述加固垫的上表面固定设置有弹簧,所述弹簧的上表面固定设置有镀膜板,所述镀膜板的上表面固定设置有真空镀膜设备,所述底座的外侧固定设置有安装座。该全自动光学光控真空镀膜系统,通过设置加固垫、弹簧和镀膜板、穿杆、凹板和橡胶垫,使得本发明具有减震和防摩擦的功能,减轻真空镀膜设备因外部环境影响产生的震动,一定程度增加了装置的使用寿命和使用的安全性,降低了维修成本和维修几率,同时防止真空镀膜设备与真空镀膜设备体内侧的摩擦,影响了光学镜片真空镀膜设备的完好性,从而提高了真空镀膜设备使用的安全性。
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公开(公告)号:CN116564777A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202211646513.0
申请日:2022-12-21
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明公开了高性能离子源栅网,包括固定板、限位槽和螺纹孔,所述固定板上下端面外圈均设置有套环,上部所述套环外部套接有上框架,下部所述套环外部套接有下框架,所述上框架上端面和下框架的下端面均开设有限位槽,上部所述限位槽内部设置有加速装置,下部所述限位槽内部设置有减速装置,所述上框架与下框架外圈右侧中部均开设有螺纹孔,所述螺纹孔与限位槽相连通,所述螺纹孔内腔设置有锁紧件,该装置结构简单,操作方便,有效提高镀膜的精度。
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公开(公告)号:CN116005113A
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202211645371.6
申请日:2022-12-21
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明公开了高性能镀膜修正板,包括真空腔和驱动电机,所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源,所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架,所述驱动电机设置于真空腔左端面中部,所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘,所述连接盘右端面上部固定连接有支撑板,所述支撑板下端面右侧设置有安装座,所述安装座内腔活动连接有第一修正板,所述第一修正板右侧设置有延伸装置,所述第一修正板下端面设置于支撑装置,所述支撑装置末端设置于连接盘右端面下部,该装置结构简单,操作方便,有效提高镀膜的质量。
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公开(公告)号:CN115940487A
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202211646602.5
申请日:2022-12-21
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明公开了一种新型高效镀膜高速电机,包括:箱体,箱体的形状为圆筒状,箱体内侧设置有定子,箱体的外侧设置有冷却管,箱体的一端封闭,箱体的另一端设置有安装板;所述箱体的内部设置有固定柄,固定柄上设置有屏蔽套,屏蔽套固定在定子与转子之间,屏蔽套的两端设置有固定架;所述屏蔽套由金属膜和套筒组成,设置在固定柄和固定板之间;定子由定子铁芯和线圈组成,定位铁芯放置在箱体与屏蔽套之间,定位铁芯的外侧缠绕有线圈;转子的两端设置有转轴,转轴伸出到箱体外侧;所述冷却管为螺旋管,冷却管的一端设置有进水管,进水管上设置有水泵;冷却管的另一端设置有排水管;该新型高效镀膜高速电机能有效降低电机温度,便于电机的使用。
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公开(公告)号:CN111677890A
公开(公告)日:2020-09-18
申请号:CN202010625356.X
申请日:2020-07-01
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明公开的用于控制扩散泵返油的装置,包括驱动气缸,所述驱动气缸的一侧外表面活动安装有联轴器,所述联轴器的一端外表面固定连接第一蝶阀轴有,所述第一蝶阀轴远离联轴器的一端设置有蝶阀体,所述蝶阀体的内侧活动安装有第一齿轮和第二齿轮,所述第一齿轮位于第二齿轮的前方位置。本发明所述的用于控制扩散泵返油的装置,能够在不改变降低扩散泵抽速的前提下减少扩散泵返油,同时可以根据工艺性的需要调节蝶阀板的开口大小控制扩散泵的抽速的大小,并且通过蝶阀板下方的密封条的贴合,增加蝶阀体的密封效果,能够在装置进行安装使用时,对装置进行快速的安装支撑固定,并缓冲上下冲击力,为装置的安装使用带来了便利。
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公开(公告)号:CN222391875U
公开(公告)日:2025-01-24
申请号:CN202323551262.0
申请日:2023-12-26
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及行星轮机构技术领域,具体为一种偏心行星轮机构,包括驱动轴、内齿轮,所述驱动轴的外侧固定连接有太阳轮,所述驱动轴的外侧且在太阳轮的下端设置有行星架,所述行星架的上端接触有行星轮,所述行星轮与太阳轮啮合,所述行星轮的外侧啮合有内齿轮。本实用新型通过设置有限位环、固定板、弹性板等部件,行星轮滑入行星架上,掰开弹性板,将卡杆安装在固定板上,卡杆对弹性板进行限位,在通过固定螺栓对弹性板进行固定,弹性板对限位环进行固定,限位环将行星轮卡在行星架上,拆卸时,解开固定螺栓,将限位环卸下即可,解决行星轮一般在铸造时,设置在行星架上,行星轮的装卸比较麻烦的问题。
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公开(公告)号:CN221398011U
公开(公告)日:2024-07-23
申请号:CN202323199501.0
申请日:2023-11-27
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种靶材移动及转动装置,包括镀膜腔体,所述镀膜腔体的内部右侧设置有离子源,所述镀膜腔体的内部且位于离子源的左侧设置有基板,所述镀膜腔体的上端固定连接有安装板。本实用新型通过将靶材装置安装在镀膜腔体顶部,靶材旋转电机通过磁流体密封装置,带动靶材旋转,水平左右移动通过水平电机,带动滚珠丝杠沿着导轨进行左右往复平移,通过导轨下方的平台及四个支撑杆来支撑整个结构,柔性波纹管连接腔体及机构中间,保证了工作时内部处于一个真空状态,在工作时靶材往复左右移动,增加了行程,扫掠面积也随着增大,因此成膜区域和产能也大大提升,从而满足市场的迫切需求。
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公开(公告)号:CN221398007U
公开(公告)日:2024-07-23
申请号:CN202323180149.6
申请日:2023-11-24
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: C23C14/26
Abstract: 本实用新型公开了一种金属蒸发源,包括真空室底板,所述真空室底板的内部设置有电极柱,所述电极柱上设置有蒸发源,所述蒸发源包括壳体、坩埚、加热丝、隔热套、绝缘套、导电柱。本实用新型通过采用金属钼或钨制作的坩埚,可以采用常规机械加工方法制作,降低了成本;采用了金属钼或钨的坩埚,蒸发高温金属材料时坩埚不会裂开,避免了坩埚开裂后金属液漏到加热丝上造成蒸发源损坏的风险,延长了使用寿命;在加热丝外面的隔热套,避免加热丝热量辐射,提高的热效率,降低了功耗。
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公开(公告)号:CN212610879U
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN202021229487.8
申请日:2020-06-29
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机,包括底座和箱体,所述底座上端面固定连接有箱体,所述箱体上端面固定连接有固定箱,所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架,所述支撑架上端面固定连接有转动装置,所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机,所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆,所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆;本实用新型中,通过设置的固定壳、从动齿轮、转动轴和固定台,通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动,从而带动固定台上方的基板转动,可以使正电荷的离子均匀轰击阴极表面,使阴极表面材料原子化,从而在试样表面上形成一层均匀的薄膜,保证镀膜质量。
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