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公开(公告)号：CN119736596A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411984923.5
申请日：2024-12-31
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本发明属于真空镀膜技术领域，提供了一种可公转可自转的三面靶结构，包括自转电机，其输出端传动连接有磁流体内轴，磁流体内轴的末端与自转延长套相连，所述自转延长套延伸于转靶壳体内；延伸到转靶壳体内的自转延长套上设有自转齿轮组，所述自转齿轮组包括设置于自转延长套末端的锥齿轮一，所述锥齿轮一上咬合连接有三组锥齿轮二，锥齿轮二通过对应的自转转靶磁流体与靶材相连，实现靶材的自转；公转电机，设置于自转电机的一端，公转电机通过皮带组件与包裹于磁流体内轴外部的磁流体中间轴相连，所述磁流体中间轴与设置于自转延长套外部的公转延长套相连，所述公转延长套与转靶壳体相连，实现靶材的公转，提高了靶材的利用率。
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公开(公告)号：CN221398012U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323180303.X
申请日：2023-11-24
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及溅射靶技术领域，具体为一种角度可调式溅射靶，包括安装法兰、气缸，所述安装法兰的左侧设置有磁流体。本实用新型通过设置有电机、磁流体、联轴器、锥齿轮等部件，电机转动时，通过磁流体、联轴器带动小齿轮后传到大齿轮上，带动靶头旋转，靶头的摆动采用具有柔性的波纹管连接，在实现真空密封时也具有角度摆动功能，解决了倾斜安装的溅射靶，其溅射角度固定了，无法调整；当镀膜均匀性不好时，无法通过角度的微调来修正均匀性，当基片尺寸改变时或安装多个基片时，无法调整聚焦的角度，工艺灵活性较差；角度调节为手动的，且只能在不工作时，打开真空室调整，效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN222029037U
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202323551280.9
申请日：2023-12-26
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: H01J3/04
Abstract: 本实用新型涉及往复移动机构技术领域，具体为一种离子源往复移动机构，包括安装座、移动座、支撑块，所述安装座的外侧固定连接有电机，所述电机的输出轴与安装座转动连接，所述电机的输出轴上固定连接有螺杆，所述螺杆与安装座通过轴承连接，所述螺杆的外侧通过螺纹连接有移动座，所述移动座与安装座滑动连接，所述移动座的外侧设置有清理机构。本实用新型通过设置有滑杆、固定板、限位孔等部件，抽出滑杆，将固定板安装在支撑块内，松开滑杆，安装板在弹簧弹力作用下，带动滑杆向固定板方向移动，滑杆卡入限位孔，对固定板进行固定，解决了离子源器固定在支撑块上，不便于对其进行维修的问题。
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公开(公告)号：CN221346650U
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202323207488.9
申请日：2023-11-27
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种行程可调式门铰链，包括真空室，所述真空室的前端设置有铰链机构，所述真空室的前端通过铰链机构连接有门，所述门的前端设置有把手，所述铰链机构包括第一安装座、防撞条、第一轴销、活动板、第二安装座、第二轴销、第一轴孔、第二轴孔、第一限位螺丝、第二限位螺丝。本实用新型通过采用双轴销的铰链，可以避免开门时的门下垂，同时也大大提高的承载能力。并且在铰链上安装有限位螺丝，可以调节补偿行程的范围；安装橡胶制作的防撞条，可以避免门打开角度过大撞到铰链安装座上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN221663006U
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202323180120.8
申请日：2023-11-24
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及大尺寸基盘技术领域，具体为一种离子溅射镀膜机用大尺寸基盘，包括基板、行星轮，所述基板的上端固定连接有支撑板。本实用新型通过设置有外齿圈、磁流体、电机等部件，通过行星轮结构，使基板转动的时候保持平稳，降低基板在旋转时候产生的跳动公差，这样在镀膜过程中，使覆着的材料分子排布更均匀，镀膜区域也得到了扩大，解决了目前常规的离子束溅射镀膜机基板使用高速电机带动1个基板，或者行星轮带动4个基板匀速转动，每个基板尺寸一般不超过14英寸1因为随着基板尺寸的增加，旋转时所需扭矩与基板平面跳动也会同步增加，目前离子束溅射镀膜领域缺少单个大尺寸基板的结构的问题。
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公开(公告)号：CN221664997U
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202323553859.9
申请日：2023-12-26
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: F04D29/66
Abstract: 本实用新型涉及抽气结构技术领域，具体为一种扰流板，包括进风箱，所述进风箱上设置有安装机构，所述安装机构包括密封板，所述进风箱的上端通过螺栓连接有密封板，所述密封板的上端固定连接有把手，所述密封板的下端固定连接有连接条，所述连接条与进风箱滑动连接，所述连接条的下端固定连接有安装框。本实用新型通过设置有过滤网、半球块、碰撞杆等部件，风机抽气时，过滤网对进入的空气进行过滤，风带动叶轮旋转，叶轮通过旋转杆带动碰撞杆旋转，碰撞杆对半球块进行碰撞，半球块带动过滤网振动，防止过滤网堵塞，解决了抽气结构在抽气时，抽入的空气中可能含有杂质，影响内部的空气质量的问题。
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公开(公告)号：CN222391875U
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202323551262.0
申请日：2023-12-26
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及行星轮机构技术领域，具体为一种偏心行星轮机构，包括驱动轴、内齿轮，所述驱动轴的外侧固定连接有太阳轮，所述驱动轴的外侧且在太阳轮的下端设置有行星架，所述行星架的上端接触有行星轮，所述行星轮与太阳轮啮合，所述行星轮的外侧啮合有内齿轮。本实用新型通过设置有限位环、固定板、弹性板等部件，行星轮滑入行星架上，掰开弹性板，将卡杆安装在固定板上，卡杆对弹性板进行限位，在通过固定螺栓对弹性板进行固定，弹性板对限位环进行固定，限位环将行星轮卡在行星架上，拆卸时，解开固定螺栓，将限位环卸下即可，解决行星轮一般在铸造时，设置在行星架上，行星轮的装卸比较麻烦的问题。
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公开(公告)号：CN221398011U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323199501.0
申请日：2023-11-27
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种靶材移动及转动装置，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体的内部右侧设置有离子源，所述镀膜腔体的内部且位于离子源的左侧设置有基板，所述镀膜腔体的上端固定连接有安装板。本实用新型通过将靶材装置安装在镀膜腔体顶部，靶材旋转电机通过磁流体密封装置，带动靶材旋转，水平左右移动通过水平电机，带动滚珠丝杠沿着导轨进行左右往复平移，通过导轨下方的平台及四个支撑杆来支撑整个结构，柔性波纹管连接腔体及机构中间，保证了工作时内部处于一个真空状态，在工作时靶材往复左右移动，增加了行程，扫掠面积也随着增大，因此成膜区域和产能也大大提升，从而满足市场的迫切需求。
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公开(公告)号：CN221398007U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323180149.6
申请日：2023-11-24
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: C23C14/26
Abstract: 本实用新型公开了一种金属蒸发源，包括真空室底板，所述真空室底板的内部设置有电极柱，所述电极柱上设置有蒸发源，所述蒸发源包括壳体、坩埚、加热丝、隔热套、绝缘套、导电柱。本实用新型通过采用金属钼或钨制作的坩埚，可以采用常规机械加工方法制作，降低了成本；采用了金属钼或钨的坩埚，蒸发高温金属材料时坩埚不会裂开，避免了坩埚开裂后金属液漏到加热丝上造成蒸发源损坏的风险，延长了使用寿命；在加热丝外面的隔热套，避免加热丝热量辐射，提高的热效率，降低了功耗。
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