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公开(公告)号：CN100367027C
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN02124788.9
申请日：1995-10-27
Applicant: 杰富意钢铁株式会社
Abstract: 本发明提供一种表面缺陷的检查装置和方法，该检查装置包括：将偏振光入射到被检查表面上的光投射装置；备有接收具有不同特定角度的至少3个方向偏振光的多个接收光的光学系统，检测被检查表面反射的反射光并变换成图像信号的光接收装置；以及按预先规定的基准值把从各接收光的光学系统输出的光强分布进行标准化，把标准化后的多个光强分布的变化极性和变化量与预定的图形进行比较，判定缺陷的种类的信号处理装置。
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