-
公开(公告)号：CN114300353A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111668040.X
申请日：2021-12-31
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L21/306 , B81C1/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的方法；通过两对超声发生器在反应釜内形成了驻波场，使得带电金属粒子在驻波场中停滞在各个驻波节点上；通过在两个石墨电极中通入交变电流，使反应釜中产生交变电场，使得带电金属粒子沿交变电场力的方向带动腐蚀液中的酸与硅片发生刻蚀反应；通过改变超声波的频率和幅值改变驻波场中驻波节点的位置，从而改变带电金属粒子催化刻蚀反应的位置；通过改变交变电流的频率与幅值，改变硅片表面微结构的腐蚀深度；通过改变交变电场力的方向，改变硅片表面微结构的倾斜度。本发明通过调节超声波和交变电流的频率和幅值，能实现按预设图案对硅片表面进行刻蚀；提高了硅片的刻蚀效率和精确度。
-
公开(公告)号：CN114158991A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111549182.4
申请日：2021-12-17
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种墙面清洗机器人及其在墙面进行清洁与移动的方法，包括左机身、右机身、双臂机构、升降机构、平移机构、清洁机构和真空吸附机构；双臂机构的两个左长臂和两个右长臂通过球面铰接在左、右机身上；齿轮与齿条配合调整两个左长臂和两个右长臂位置，实现两个左长臂和两个右长臂的前进、后退与升降；真空泵一和真空泵二吸附底部吸盘和爬行脚吸盘内空气，使机器人稳定吸附在墙面；电动缸一、电动缸二、电机五和电机六配合实现机器人的左、右横移；电机三和连杆三实现毛刷公转，电机四实现毛刷自转。本发明的两个左长臂和两个右长臂运动空间大，灵活多变，能实现机器人前进、后退与横移，稳定性好、工作高效，可进行墙面清理工作。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114348957A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111661815.0
申请日：2021-12-31
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的设备，电机驱动两石墨电极旋转；三个超声发生器分别装配在反应釜内部的底面和两侧壁面上；一个超声发生器装配在釜端盖的下表面上。本发明通过两对超声发生器在硅片表面形成驻波场，使带电金属粒子停滞在驻波场的驻波节点上；石墨电极通电使带电金属粒子沿交变电场力方向运动，团聚在带电金属粒子周围的腐蚀液中的酸在带电金属粒子带动下与硅片表面反应；通过改变超声波频率和幅值改变驻波场中驻波节点位置，改变在硅片上的刻蚀位置；电机调整两石墨电极位置，使交变电场力方向改变；改变交变电流的频率和幅值，调整微结构刻蚀深度。本发明能按预设图案对硅片进行刻蚀。
-
公开(公告)号：CN114314504A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111632799.2
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁场与机械振动结合的硅纳米结构制备方法，通过振动硅片，使预先沉积在硅片上的导磁性膜析出导磁性金属粒子，通过向三个漆包线绕线组产生三个磁场，使导磁性金属粒子沿磁场的磁力线排布，并在持续振动作用下沿硅片表面磁力线指向与硅片表面发生撞击，使团聚在导磁性金属粒子周围的腐蚀液中的酸随导磁性金属粒子撞击硅片表面，与硅片反应；在振动与磁场结合作用下，导磁性金属粒子不断重复与硅片表面撞击，并不断回到磁力线位置进行排布，逐渐完成硅片表面的微纳米结构制备。本发明通过改变三个漆包线绕线组通入电流的频率、相位和幅值，能获得不同磁场分布，使导磁性金属粒子能带动腐蚀液中的酸在硅片上刻蚀出不同的预设图案。
-
公开(公告)号：CN114291786A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111681487.0
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，包括衔铁圈、漆包线绕线组、反应釜、振动器和夹紧托盘；衔铁圈固定在反应釜的侧壁上；三个漆包线绕线组绕在衔铁圈上；夹紧推盘固定在反应釜底部；反应釜底部与振动器的输出端固定连接；振动器和三个漆包线绕线组分别连接一个电源。本发明通过改变三个漆包线绕线组通入电流的频率、相位和幅值，能获得不同的磁场分布，使得导磁性金属粒子周围团聚的腐蚀液中的酸能在硅片上刻蚀出不同的预设图案；本发明结构简单，在硅片加工时具有较高的精度。
-
公开(公告)号：CN114348957B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202111661815.0
申请日：2021-12-31
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的设备，电机驱动两石墨电极旋转；三个超声发生器分别装配在反应釜内部的底面和两侧壁面上；一个超声发生器装配在釜端盖的下表面上。本发明通过两对超声发生器在硅片表面形成驻波场，使带电金属粒子停滞在驻波场的驻波节点上；石墨电极通电使带电金属粒子沿交变电场力方向运动，团聚在带电金属粒子周围的腐蚀液中的酸在带电金属粒子带动下与硅片表面反应；通过改变超声波频率和幅值改变驻波场中驻波节点位置，改变在硅片上的刻蚀位置；电机调整两石墨电极位置，使交变电场力方向改变；改变交变电流的频率和幅值，调整微结构刻蚀深度。本发明能按预设图案对硅片进行刻蚀。
-
公开(公告)号：CN114158991B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111549182.4
申请日：2021-12-17
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种墙面清洗机器人及其在墙面进行清洁与移动的方法，包括左机身、右机身、双臂机构、升降机构、平移机构、清洁机构和真空吸附机构；双臂机构的两个左长臂和两个右长臂通过球面铰接在左、右机身上；齿轮与齿条配合调整两个左长臂和两个右长臂位置，实现两个左长臂和两个右长臂的前进、后退与升降；真空泵一和真空泵二吸附底部吸盘和爬行脚吸盘内空气，使机器人稳定吸附在墙面；电动缸一、电动缸二、电机五和电机六配合实现机器人的左、右横移；电机三和连杆三实现毛刷公转，电机四实现毛刷自转。本发明的两个左长臂和两个右长臂运动空间大，灵活多变，能实现机器人前进、后退与横移，稳定性好、工作高效，可进行墙面清理工作。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.021 seconds)
