公开(公告)号：CN111825056B

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202010692685.6

申请日：2020-07-17

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘红英 ,  刘光献 ,  顾春川 ,  邓敏 ,  樊凯 ,  李杜娟 ,  厉力华 ,  陈建龙

IPC: B81C1/00 ,  G01Q60/38

Abstract: 本发明属于微纳米制造领域，尤其涉及一种基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针。其成型方法包括步骤：S1、将尺寸为微纳米数量级的硅基板放置于显微镜下；S2、对所述硅基板的表面进行离子刻蚀，形成若干个孔；S3、对离子刻蚀后的硅基板进行高温成型，以在硅基板内部形成空腔，得到内部含有空腔的悬臂梁；S4、将所述内部含有空腔的悬臂梁的一端固定，调节飞秒激光性能参数，在悬臂梁的另一端利用飞秒激光进行探针的成型。本发明制造悬臂梁探针的方法简易有效，省去了采购昂贵的试验设备所需的成本，并且悬臂梁内部含有空腔，提高了悬臂梁探针的谐振频率，从而提高了悬臂梁探针的探测精度。

公开(公告)号：CN111825056A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202010692685.6

申请日：2020-07-17

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘红英 ,  刘光献 ,  顾春川 ,  邓敏 ,  樊凯 ,  李杜娟 ,  厉力华 ,  陈建龙

IPC: B81C1/00 ,  G01Q60/38

Abstract: 本发明属于微纳米制造领域，尤其涉及一种基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针。其成型方法包括步骤：S1、将尺寸为微纳米数量级的硅基板放置于显微镜下；S2、对所述硅基板的表面进行离子刻蚀，形成若干个孔；S3、对离子刻蚀后的硅基板进行高温成型，以在硅基板内部形成空腔，得到内部含有空腔的悬臂梁；S4、将所述内部含有空腔的悬臂梁的一端固定，调节飞秒激光性能参数，在悬臂梁的另一端利用飞秒激光进行探针的成型。本发明制造悬臂梁探针的方法简易有效，省去了采购昂贵的试验设备所需的成本，并且悬臂梁内部含有空腔，提高了悬臂梁探针的谐振频率，从而提高了悬臂梁探针的探测精度。