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发明公开
一种抑制杂波的高Q值体声波谐振器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN119496480A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202510073960.9

申请日：2025-01-17

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 轩伟鹏 , 李远念 , 董树荣 , 金浩 , 李文钧 , 孙玲玲 , 刘军 , 骆季奎

IPC: H03H9/17 , H03H3/02

Abstract: 本发明公开了一种抑制杂波的高Q值体声波谐振器及其制备方法，该高Q值体声波谐振器，包括衬底，所述衬底上设有空腔；压电堆叠结构，所述压电堆叠结构位于衬底上，所述压电堆叠结构从下到上包括种子层、下电极、压电层、上电极和钝化层，所述上电极的边缘处设置空气桥和下垂臂部。该体声波谐振器具有合适Q值，且能够较好抑制杂波。

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