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公开(公告)号：CN119664638A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202510181322.9
申请日：2025-02-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: F04B45/04 , F04B45/047 , F04B49/06
Abstract: 本发明公开了一种声学增强驱动的并联压电微泵及其驱动方法；其包括依次层叠设置的输入层、支撑结构和输出层；其特征在于：还包括设置在支撑结构内的多个致动器。各致动器呈直线队列排布或矩阵状排布。各致动器与输入层之间形成连为一体的输入腔室。各致动器与输出层之间形成相互独立的多个输出腔室。所述致动器用于通过自身振动泵送流体。所述输入层上设有与致动器上通流结构错开的多个进流结构。输出层上设有与致动器上通流结构对齐多个出流结构。本发明通过将多个泵流单元并联的方式，实现声学振动耦合机械振动，并将多个进流结构设置在声学共振的多个波腹点，进一步增强流体的流动，提高泵气效率。
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公开(公告)号：CN119664638B
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510181322.9
申请日：2025-02-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: F04B45/04 , F04B45/047 , F04B49/06
Abstract: 本发明公开了一种声学增强驱动的并联压电微泵及其驱动方法；其包括依次层叠设置的输入层、支撑结构和输出层；其特征在于：还包括设置在支撑结构内的多个致动器。各致动器呈直线队列排布或矩阵状排布。各致动器与输入层之间形成连为一体的输入腔室。各致动器与输出层之间形成相互独立的多个输出腔室。所述致动器用于通过自身振动泵送流体。所述输入层上设有与致动器上通流结构错开的多个进流结构。输出层上设有与致动器上通流结构对齐多个出流结构。本发明通过将多个泵流单元并联的方式，实现声学振动耦合机械振动，并将多个进流结构设置在声学共振的多个波腹点，进一步增强流体的流动，提高泵气效率。
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公开(公告)号：CN119572465B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510131030.4
申请日：2025-02-06
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种摆动振子式压电微泵及其驱动和制备方法；该压电微泵包括支撑结构，设置在支撑结构两端的第一通流层和第二通流层，以及设置支撑结构内的致动器。致动器包括并列设置的两个致动单元。致动单元包括基板和振动元件。所述振动元件固定在基板上；本发明中的两个致动单元呈并列且相反侧的对置悬臂结构，其摆动泵气过程中不会产生类似于常规环形致动器结构的中心应力，有助于延长压电微泵的使用寿命。同时，向两个致动单元输入不同激励信号时，能够使得两个致动单元发生异步振动，从而在压电微泵中产生具有一定持续性的反向气流，从而起到对进气口进行定期自清洁的作用，实现压电微泵的复杂环境中的长时间持续工作。
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公开(公告)号：CN119572465A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202510131030.4
申请日：2025-02-06
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种摆动振子式压电微泵及其驱动和制备方法；该压电微泵包括支撑结构，设置在支撑结构两端的第一通流层和第二通流层，以及设置支撑结构内的致动器。致动器包括并列设置的两个致动单元。致动单元包括基板和振动元件。所述振动元件固定在基板上；本发明中的两个致动单元呈并列且相反侧的对置悬臂结构，其摆动泵气过程中不会产生类似于常规环形致动器结构的中心应力，有助于延长压电微泵的使用寿命。同时，向两个致动单元输入不同激励信号时，能够使得两个致动单元发生异步振动，从而在压电微泵中产生具有一定持续性的反向气流，从而起到对进气口进行定期自清洁的作用，实现压电微泵的复杂环境中的长时间持续工作。
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