公开(公告)号：CN116819681A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310508688.3

申请日：2023-05-08

Applicant: 暨南大学

Inventor： 吕贤鹏 ,  卢惠辉 ,  关贺元 ,  杨铁锋 ,  田子平 ,  吴姝瑶 ,  彭佳豪 ,  董江莉

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/125 ,  G02F1/295 ,  G02F1/29 ,  G02B6/13 ,  G02F1/03 ,  G02F1/035 ,  G02B6/12

Abstract: 本发明涉及集成光芯片领域,更具体地,涉及一种基于微结构的电光波导阵列光学相控阵。用于解决传统电光调制的光束扫描器件仍然难于达到高速化(GHZ)、大扫描角度(视场)等要求的问题。这种光束扫描技术自上而下的结构为微结构电极、缓冲层、铌酸锂层或者绝缘体上薄膜铌酸锂平台(LNOI)；上述的微结构电极为周期性矩形打孔电极；所述铌酸锂和缓冲层内包裹有电子束光刻铌酸锂波导；所述电子束光刻波导设置有入射区域、分束区域、调制区域和输出区域共同构成波导区；所述芯片的出射区域设置有超晶格单元；所述超晶格单元为不同间隔分布的铌酸锂波导序列；通过上述技术方案,以实现高速率、大扫描角度的技术效果。