公开(公告)号：CN117192816A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311087028.9

申请日：2023-08-28

Applicant: 上海交大平湖智能光电研究院 ,  暨南大学

Inventor： 彭佳豪 ,  卢惠辉 ,  王晓峰 ,  关贺元 ,  杨铁锋

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/03

Abstract: 一种调制器射频互连错位封装结构，用于解决传统电光调制器电极与射频信号过渡芯片在互连后带宽损失高的问题。这种互连设计自上而下的结构为射频板微带线、射频板基底层与金属通孔、射频板焊盘、石英垫块、焊球、电光调制器：上述的射频板微带线为GSG结构的共面波导；所述射频板基底为氧化铝材料，基底内部通过金属通孔将基底上表面电极与下表面焊盘连接；所述石英垫块支撑射频板于合适高度；所述焊球连接射频板焊盘与电光调制器电极；所述电光调制器的电极结构为GSG结构的共面波导，缓冲层与铌酸锂层内包裹有电子束光刻铌酸锂波导；通过上述技术方案，以实现高带宽的调制器射频互连的技术效果。

公开(公告)号：CN116819681A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310508688.3

申请日：2023-05-08

Applicant: 暨南大学

Inventor： 吕贤鹏 ,  卢惠辉 ,  关贺元 ,  杨铁锋 ,  田子平 ,  吴姝瑶 ,  彭佳豪 ,  董江莉

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/125 ,  G02F1/295 ,  G02F1/29 ,  G02B6/13 ,  G02F1/03 ,  G02F1/035 ,  G02B6/12

Abstract: 本发明涉及集成光芯片领域,更具体地,涉及一种基于微结构的电光波导阵列光学相控阵。用于解决传统电光调制的光束扫描器件仍然难于达到高速化(GHZ)、大扫描角度(视场)等要求的问题。这种光束扫描技术自上而下的结构为微结构电极、缓冲层、铌酸锂层或者绝缘体上薄膜铌酸锂平台(LNOI)；上述的微结构电极为周期性矩形打孔电极；所述铌酸锂和缓冲层内包裹有电子束光刻铌酸锂波导；所述电子束光刻波导设置有入射区域、分束区域、调制区域和输出区域共同构成波导区；所述芯片的出射区域设置有超晶格单元；所述超晶格单元为不同间隔分布的铌酸锂波导序列；通过上述技术方案,以实现高速率、大扫描角度的技术效果。