研磨液、研磨液套剂,研磨方法及缺陷抑制方法

    公开(公告)号:CN113661563A

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN201980095042.9

    申请日:2019-04-02

    Abstract: 一种研磨液,其含有磨粒、第一含氮化合物、第二含氮化合物及水,所述第一含氮化合物包含选自由(I)具有环内含有1个氮原子的芳香环和羟基的化合物、(II)具有环内含有1个氮原子的芳香环和含有氮原子的官能团的化合物、(III)具有环内含有2个氮原子的6元环的化合物、(IV)具有苯环和环内含有氮原子的环的化合物、及(V)具有键合有2个以上的含有氮原子的官能团的苯环的化合物组成的组中的至少一种,所述第二含氮化合物的HLB值为7以上。

    CMP研磨液及研磨方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114729258A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202180006440.6

    申请日:2021-02-12

    Abstract: 本发明的一方面提供一种CMP研磨液,其含有磨粒和阳离子性聚合物,阳离子性聚合物具有:包含氮原子及碳原子的主链、和键合于所述碳原子的羟基。该CMP研磨液还可以含有选自由含氨基的芳香族化合物及含氮杂环化合物组成的组中的至少一种环状化合物。本发明的另一方面提供一种研磨方法,其具备如下工序:使用该CMP研磨液来研磨被研磨材料。

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