声音检测机构
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1823551A

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200480020494.4

    申请日:2004-07-14

    CPC classification number: H04R19/016 H04R19/04

    Abstract: 构成能够在衬底上以简单的工艺制作振动片及背电极的声音检测机构。在衬底A的表面侧形成成为通孔Ba的声孔,在该表面侧的声孔的部位层叠第二保护膜406、牺牲层D(407)和金属膜408,从衬底A的背面侧通过进行到达声孔的深度的蚀刻来形成声音开口E,然后从衬底A的背面侧经由声孔,进行蚀刻来除去牺牲层407,在由金属膜408构成的振动片C与衬底A之间形成空隙区域F,且形成通孔Ba,将蚀刻后残留的牺牲层407作为保持背电极B与振动片C之间的距离的隔垫D。

    声音检测机构
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1795699A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200480014761.7

    申请日:2004-05-25

    CPC classification number: H04R19/005 H04R19/04 H04R2499/11

    Abstract: 本发明提供一种通过对厚度进行控制使得振动膜能够以需要的厚度形成并能够抑制振动膜的变形的声音检测机构。该声音检测机构是在基板(A)上具有形成电容器的一对电极,该一对电极之中的一个电极是形成有相当于声孔的通孔(Ca)的背面电极(C),另一个电极是振动膜(B)的声音检测机构,在基板(A)上设置有振动膜(B),背面电极(C)设置在由基板(A)支承在与该振动膜(B)隔着空隙(F)对置的位置上的状态下,该背面电极(C)由5μm~20μm厚度的多晶硅形成。

    半导体装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100393175C

    公开(公告)日:2008-06-04

    申请号:CN00129300.1

    申请日:2000-10-08

    CPC classification number: H04R19/005 H04R19/04

    Abstract: 本发明的课题在于,在使电容话筒一体化用的半导体装置中,防止因不需要的光的入射引起的电路的误操作。在半导体衬底11上形成固定电极层12,利用形成各电路元件的电极布线32在其周边的电路元件区50上构成集成电路网。用屏蔽金属17覆盖电路元件的上方。在钝化膜35上的多个部位上配置衬垫20。在电路元件区50与固定电极层区52之间的区域上形成虚设岛18。对虚设岛18施加电源电位VCC,对P+分离区23施加接地电位GND。

    驻极体电容传声器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101156500A

    公开(公告)日:2008-04-02

    申请号:CN200680011883.X

    申请日:2006-04-11

    CPC classification number: H04R19/016

    Abstract: 一种驻极体电容传声器,其在筒状成型的壳体(2)内固定有基板(12)和在所述基板(12)上层叠的部件,其中,包括具有音孔(31)的顶板(30),在基板(12)上设置有端子电极图形(11),在壳体(2)上设置有向驻极体电容传声器内部伸出的内锷部(21)和向内弯曲的卷曲部(13),基板(12)被设置在内锷部(21),端子电极图形(11)比内锷部(21)向外部突出,顶板(30)被配置在卷曲部(13)。

    驻极体电容传声器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1628486A

    公开(公告)日:2005-06-15

    申请号:CN03803299.6

    申请日:2003-01-30

    CPC classification number: H04R3/007 H04R19/016

    Abstract: 本发明是适合用作手机的传声器或汽车的发动机舱内的传感器等的驻极体电容传声器,其消耗电力少,且能够除去宽波段的噪声。在作为电极而起作用的振动膜(6)、与该振动膜(6)对置配置的固定电极(2、25)的至少一个上备有驻极体部(E)而构成电声变换部(M),还包括对于该电声变换部的输出进行阻抗变换并输出的FET(10),使用MOS型作为该FET(10)。又,在FET(10)的信号线(L)与接地部(18)之间并列地具有电容器(11)与变阻器(12),在该信号线(L)上串联地加装有电阻器(13)。

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