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公开(公告)号：CN101837944A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200910246882.9
申请日：2009-11-19
Applicant: 明锐有限公司
IPC: B81C1/00 , B81C3/00 , B81B7/02 , G01C19/00 , G01P15/125
Abstract: 本发明提供一种用于制备陀螺仪和加速度计的方法。其中，用于制备微机电装置的方法包括提供包括控制电路的第一衬底。该第一衬底具有上表面和下表面。该方法也包括在第一衬底的上表面上形成绝缘层，去除绝缘层的第一部分，从而形成多个突起结构，以及结合第二衬底至第一衬底。该方法进一步包括薄化第二衬底成预定厚度，以及在第二衬底中形成多个沟槽。多个沟槽的每一个延伸至第一衬底的上表面。此外，该方法包括将多个沟槽的每一个的至少一部分填充导电材料，在第二衬底中形成微机电装置，以及结合第三衬底至第二衬底。
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公开(公告)号：CN101573792B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200780049134.0
申请日：2007-11-01
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 东敏·陈 , 福林·熊 , 威廉·斯潘塞·沃利三世
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0005 , B81B3/0075 , B81B2201/042 , B81C2201/112
Abstract: 本发明涉及用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂。本发明的实施例大体设计由于存在润滑剂而改善了可用寿命的器件，该润滑剂减小了机电器件中的各个运动部件之间发生粘连的可能性。本发明的实施例还大体包括器件及形成器件的方法，该器件具有一个或多个表面或区域，所述表面或区域上布置有某体积的润滑剂，用作“新鲜”润滑剂的现成供应以防止器件内的相互作用元件之间发生粘连。在一个方面，该体积的润滑剂内的成分形成气相或蒸气相，降低了所形成的器件中与粘连相关的失效的几率。在一种示例中，本发明的各方面特别有利于制造和使用微机械器件，例如MEMS器件、NEMS器件或其他类似的热学或流体器件。
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公开(公告)号：CN101303515A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200710129985.8
申请日：2007-07-20
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 东敏·陈 , 迈克尔·亚伦·汤普森
CPC classification number: G06F1/1632
Abstract: 一种投影对接台，包括对接端口和投影单元，对接端口设置成与便携式装置通信，投影单元设置成为图像执行投影处理。该投影对接台还包括通信接口和控制单元，通信接口设置成在对接端口与投影单元之间提供通信，控制单元设置成与通信接口和投影单元进行通信。控制单元设置成对下述内容进行控制：通信接口与对接端口之间的通信流、通信接口与投影单元之间的通信流、以及投影处理。
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公开(公告)号：CN101641629B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN200880009714.1
申请日：2008-01-25
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 杨晓 , 威廉·斯潘塞·沃利三世 , 东敏·陈 , 王叶
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B41J2/471 , G02B26/105
Abstract: 本发明提供了一种用于激光打印应用的微机电系统。用于激光打印应用的微机电系统包括提供包括一对电极的CMOS衬底，以及提供在衬底和电极上方可动的反光镜。施加到电极的电压产生静电力，使得反光镜的一个末端被衬底吸引。通过感测反光镜的末端与下方电极之间的电容的改变可以探测并且控制反光镜的精确位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101837944B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200910246882.9
申请日：2009-11-19
Applicant: 明锐有限公司
Abstract: 本发明提供一种用于制备陀螺仪和加速度计的方法。其中，用于制备微机电装置的方法包括提供包括控制电路的第一衬底。该第一衬底具有上表面和下表面。该方法也包括在第一衬底的上表面上形成绝缘层，去除绝缘层的第一部分，从而形成多个突起结构，以及结合第二衬底至第一衬底。该方法进一步包括薄化第二衬底成预定厚度，以及在第二衬底中形成多个沟槽。多个沟槽的每一个延伸至第一衬底的上表面。此外，该方法包括将多个沟槽的每一个的至少一部分填充导电材料，在第二衬底中形成微机电装置，以及结合第三衬底至第二衬底。
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公开(公告)号：CN101641629A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200880009714.1
申请日：2008-01-25
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 杨晓 , 威廉·斯潘塞·沃利三世 , 东敏·陈 , 王叶
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B41J2/471 , G02B26/105
Abstract: 本发明提供了一种用于激光打印应用的微机电系统。用于激光打印应用的微机电系统包括提供包括一对电极的CMOS衬底，以及提供在衬底和电极上方可动的反光镜。施加到电极的电压产生静电力，使得反光镜的一个末端被衬底吸引。通过感测反光镜的末端与下方电极之间的电容的改变可以探测并且控制反光镜的精确位置。
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公开(公告)号：CN103105674A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310014798.0
申请日：2008-01-25
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 杨晓 , 威廉·斯潘塞·沃利三世 , 东敏·陈 , 王叶
CPC classification number: G02B26/0841 , B41J2/471 , G02B26/105
Abstract: 本申请涉及用于激光打印设备的扫描反光镜及其制作方法。根据一种实施例，扫描反光镜包括：框架；一对固定电极指状物组，其连接到所述框架，所述固定电极指状物组中的每个包括多个固定电极；一组扭转铰链，其连接到所述框架；反光镜板，其连接到所述扭转铰链；一对可动电极指状物组，其连接到所述反光镜板，所述可动电极指状物组中的每一者包括多个可动指状物，其中所述多个可动指状物被构造为与所述多个固定指状物相交错。
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公开(公告)号：CN101303515B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200710129985.8
申请日：2007-07-20
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 东敏·陈 , 迈克尔·亚伦·汤普森
CPC classification number: G06F1/1632
Abstract: 一种投影对接台，包括对接端口和投影单元，对接端口设置成与便携式装置通信，投影单元设置成为图像执行投影处理。该投影对接台还包括通信接口和控制单元，通信接口设置成在对接端口与投影单元之间提供通信，控制单元设置成与通信接口和投影单元进行通信。控制单元设置成对下述内容进行控制：通信接口与对接端口之间的通信流、通信接口与投影单元之间的通信流、以及投影处理。
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公开(公告)号：CN101573792A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200780049134.0
申请日：2007-11-01
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 东敏·陈 , 福林·熊 , 威廉·斯潘塞·沃利三世
IPC: H01L23/58
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0005 , B81B3/0075 , B81B2201/042 , B81C2201/112
Abstract: 本发明涉及用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂。本发明的实施例大体设计由于存在润滑剂而改善了可用寿命的器件，该润滑剂减小了机电器件中的各个运动部件之间发生粘连的可能性。本发明的实施例还大体包括器件及形成器件的方法，该器件具有一个或多个表面或区域，所述表面或区域上布置有某体积的润滑剂，用作“新鲜”润滑剂的现成供应以防止器件内的相互作用元件之间发生粘连。在一个方面，该体积的润滑剂内的成分形成气相或蒸气相，降低了所形成的器件中与粘连相关的失效的几率。在一种示例中，本发明的各方面特别有利于制造和使用微机械器件，例如MEMS器件、NEMS器件或其他类似的热学或流体器件。
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