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公开(公告)号：CN1308411C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200380101285.8
申请日：2003-10-09
Applicant: 旭硝子株式会社 , 日本华尔卡工业株式会社
IPC: C09K3/10 , C08F214/18 , C08L27/12 , F16J15/10
Abstract: 本发明提供耐等离子体性好且廉价的第1半导体装置用密封材料、具有良好的表面平滑性和尺寸精度的第2半导体装置用密封材料及其制造方法。第1密封材料以包含特定组成的氟系弹性共聚物的硫化物的氟橡胶为橡胶成分，第2密封材料将特定氟系弹性共聚物构成的氟橡胶成分(a)和偏二氟乙烯(共)聚合物构成的非弹性的氟树脂成分(b)以特定的比例形成氟橡胶预成型体，利用电离性放射线进行交联。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1703480A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200380101285.8
申请日：2003-10-09
Applicant: 旭硝子株式会社 , 日本华尔卡工业株式会社
IPC: C09K3/10 , C08F214/18 , C08L27/12 , F16J15/10
Abstract: 本发明提供耐等离子体性好且廉价的第1半导体装置用密封材料、具有良好的表面平滑性和尺寸精度的第2半导体装置用密封材料及其制造方法。第1密封材料以包含特定组成的氟系弹性共聚物的硫化物的氟橡胶为橡胶成分，第2密封材料将特定氟系弹性共聚物构成的氟橡胶成分(a)和偏二氟乙烯(共)聚合物构成的非弹性的氟树脂成分(b)以特定的比例形成氟橡胶预成型体，利用电离性放射线进行交联。
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公开(公告)号：CN101023289B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200580031150.8
申请日：2005-05-12
Applicant: 日本华尔卡工业株式会社
IPC: F16J15/10
CPC classification number: F16J15/062 , F16J15/104 , F16J15/166
Abstract: 本发明提供可用于所谓“燕尾沟槽”，同时具有真空密封性能、耐等离子体性和耐腐蚀气体性等性能，即使反复使用真空密封性能也不会下降，使用时不会产生金属颗粒，而且可以容易地、低成本地制造的复合密封材料。压接复合密封材料10时，第1密封部件20的第1密封部30的膨出部28被压接而被赋予密封性的同时，第2密封部件24的第2延伸部36通过第1密封部件20的第1延伸部38被挤压于密封沟槽12的开口部16侧，第2密封部34上表面34a被压接而被赋予密封性。
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公开(公告)号：CN101023289A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031150.8
申请日：2005-05-12
Applicant: 日本华尔卡工业株式会社
IPC: F16J15/10
CPC classification number: F16J15/062 , F16J15/104 , F16J15/166
Abstract: 本发明提供可用于所谓“燕尾沟槽”，同时具有真空密封性能、耐等离子体性和耐腐蚀气体性等性能，即使反复使用真空密封性能也不会下降，使用时不会产生金属颗粒，而且可以容易地、低成本地制造的复合密封材料。压接复合密封材料10时，第1密封部件20的第1密封部30的膨出部28被压接而被赋予密封性的同时，第2密封部件24的第2延伸部36通过第1密封部件20的第1延伸部38被挤压于密封沟槽12的开口部16侧，第2密封部34上表面34a被压接而被赋予密封性。
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公开(公告)号：CN1154684C
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN97192961.0
申请日：1997-12-25
Applicant: 日本华尔卡工业株式会社
CPC classification number: C08J7/16 , C08J2321/00 , C08J2327/12
Abstract: 本发明的目的在于提供一种表面改性橡胶及其密封材料。藉此可制得具有优异的低摩擦、不粘附、耐磨性及耐等离子体性能、同时保持橡胶材料本身固有的压缩永久变形、橡胶弹性、机械强度及跟随变形性能的表面改性橡胶。本发明的表面改性橡胶的制造方法包括：使含有具可聚合双键的单体、聚合引发剂(优选的是游离基聚合引发剂)、及溶剂的处理液与一橡胶基材接触；及加热上述接触处理过的橡胶基材，使所述单体聚合，由此改性橡胶基材的表面及其表面附近之处。
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公开(公告)号：CN1213389A
公开(公告)日：1999-04-07
申请号：CN97192961.0
申请日：1997-12-25
Applicant: 日本华尔卡工业株式会社
CPC classification number: C08J7/16 , C08J2321/00 , C08J2327/12
Abstract: 本发明的目的在于提供一种表面改性橡胶及其密封材料。藉此可制得具有优异的低摩擦、不粘附、耐磨性及耐等离子体性能、同时保持橡胶材料本身固有的压缩永久变形、橡胶弹性、机械强度及跟随变形性能的表面改性橡胶。本发明的表面改性橡胶的制造方法包括:使含有具可聚合双键的单体、聚合引发剂(优选的是游离基聚合引发剂)、及溶剂的处理液与一橡胶基材接触;及加热上述接触处理过的橡胶基材,使所述单体聚合,由此改性橡胶基材的表面及其表面附近之处。
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