-
公开(公告)号：CN1308411C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200380101285.8
申请日：2003-10-09
Applicant: 旭硝子株式会社 , 日本华尔卡工业株式会社
IPC: C09K3/10 , C08F214/18 , C08L27/12 , F16J15/10
Abstract: 本发明提供耐等离子体性好且廉价的第1半导体装置用密封材料、具有良好的表面平滑性和尺寸精度的第2半导体装置用密封材料及其制造方法。第1密封材料以包含特定组成的氟系弹性共聚物的硫化物的氟橡胶为橡胶成分，第2密封材料将特定氟系弹性共聚物构成的氟橡胶成分(a)和偏二氟乙烯(共)聚合物构成的非弹性的氟树脂成分(b)以特定的比例形成氟橡胶预成型体，利用电离性放射线进行交联。
-
公开(公告)号：CN1703480A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200380101285.8
申请日：2003-10-09
Applicant: 旭硝子株式会社 , 日本华尔卡工业株式会社
IPC: C09K3/10 , C08F214/18 , C08L27/12 , F16J15/10
Abstract: 本发明提供耐等离子体性好且廉价的第1半导体装置用密封材料、具有良好的表面平滑性和尺寸精度的第2半导体装置用密封材料及其制造方法。第1密封材料以包含特定组成的氟系弹性共聚物的硫化物的氟橡胶为橡胶成分，第2密封材料将特定氟系弹性共聚物构成的氟橡胶成分(a)和偏二氟乙烯(共)聚合物构成的非弹性的氟树脂成分(b)以特定的比例形成氟橡胶预成型体，利用电离性放射线进行交联。
-
公开(公告)号：CN101977981A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200980109890.7
申请日：2009-03-12
Applicant: 日本华尔卡工业株式会社
CPC classification number: C09K3/1009 , C08K5/107 , C08K5/14 , Y10T428/3154 , C08L27/16
Abstract: 本发明的氟橡胶组合物的特征在于，相对于100重量份的过氧化物交联性氟聚合物，含有0.1～3重量份的多元醇化合物、0.1～4重量份的过氧化物交联剂、1～9重量份的共交联剂。本发明的耐裂性密封材料的特征在于，包含氟聚合物交联物和多元醇化合物。本发明的耐裂性密封材料的特征在于，可通过将所述氟橡胶组合物交联而得到，可使所得的耐裂性密封材料的耐裂性特别良好。本发明的氟橡胶组合物能以低廉的价格形成具有良好的耐等离子体性、耐裂性和压缩永久变形且不易产生微粒的使用寿命长的耐裂性密封材料。
-
公开(公告)号：CN101977981B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980109890.7
申请日：2009-03-12
Applicant: 日本华尔卡工业株式会社
CPC classification number: C09K3/1009 , C08K5/107 , C08K5/14 , Y10T428/3154 , C08L27/16
Abstract: 本发明的氟橡胶组合物的特征在于，相对于100重量份的过氧化物交联性氟聚合物，含有0.1～3重量份的多元醇化合物、0.1～4重量份的过氧化物交联剂、1～9重量份的共交联剂。本发明的耐裂性密封材料的特征在于，包含氟聚合物交联物和多元醇化合物。本发明的耐裂性密封材料的特征在于，可通过将所述氟橡胶组合物交联而得到，可使所得的耐裂性密封材料的耐裂性特别良好。本发明的氟橡胶组合物能以低廉的价格形成具有良好的耐等离子体性、耐裂性和压缩永久变形且不易产生微粒的使用寿命长的耐裂性密封材料。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.034 seconds)
