公开(公告)号：CN102132148B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN200980133544.2

申请日：2009-07-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 金子静则 ,  夜久昌司 ,  儿玉孝太郎

IPC: G01N21/958

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/896 ,  G01N2021/8905

Abstract: 对从第一线状光源照射并通过板状体的透射光利用第一摄像机拍摄明场图像时，在第一摄像机的透射光的光路中的位于第一摄像机前方的位置上设置刀刃状的光路屏蔽部件。从拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域，判别在板状体是否存在缺陷区域。

公开(公告)号：CN102132148A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200980133544.2

申请日：2009-07-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 金子静则 ,  夜久昌司 ,  儿玉孝太郎

IPC: G01N21/958

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/896 ,  G01N2021/8905

Abstract: 对从第一线状光源照射并通过板状体的透射光利用第一摄像机拍摄明场图像时，在第一摄像机的透射光的光路中的位于第一摄像机前方的位置上设置刀刃状的光路屏蔽部件。从拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域，判别在板状体是否存在缺陷区域。