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公开(公告)号：CN1420203A
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN02151326.0
申请日：2002-11-15
Applicant: 旭电化工业株式会社
IPC: C23C16/30
CPC classification number: C23C16/409 , C07F7/003
Abstract: 一种通过化学气相成长法制造钛酸锶、钛酸钡或钛酸钡锶薄膜的方法，其特征在于，使用由通式(I)表示的钛化合物，式中，R1表示氢原子或甲基，R2、R3各自独立地表示甲基、乙基或表示连接在一起形成亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基的基团。
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