公开(公告)号：CN1420203A

公开(公告)日：2003-05-28

申请号：CN02151326.0

申请日：2002-11-15

Applicant: 旭电化工业株式会社

Inventor： 小野泽和久 ,  芳仲笃也 ,  山田直树 ,  樱井淳

IPC: C23C16/30

CPC classification number: C23C16/409 ,  C07F7/003

Abstract: 一种通过化学气相成长法制造钛酸锶、钛酸钡或钛酸钡锶薄膜的方法，其特征在于，使用由通式(I)表示的钛化合物，式中，R1表示氢原子或甲基，R2、R3各自独立地表示甲基、乙基或表示连接在一起形成亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基的基团。

公开(公告)号：CN1309192A

公开(公告)日：2001-08-22

申请号：CN01104042.4

申请日：2001-02-16

Applicant: 旭电化工业株式会社

Inventor： 小野泽和久 ,  山田直树

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/409

Abstract: 本发明涉及一种将化学式(Ⅰ)所表示的金属化合物溶于化学式(Ⅱ)所表示的环己烷化合物中所形成的金属化合物溶液,式中,R1、R2和R3中的每一个代表具有1～8个碳原子的、卤素取代或未取代的烷基基团,而且在其主链上可能含有一个氧原子;R4代表具有2～18个碳原子的直链或支链的亚烷基;M代表铅原子、钛原子或锆原子;当M是铅原子时,l、m和n分别为0、2和0;当M是钛原子或锆原子时,n为0或1,而l和m各自为满足下列等式的、0至4之间的一个整数:l+m+2n=4;式中,R5为氢原子或具有1～4个碳原子的烷基基团;p为1或2。

公开(公告)号：CN1175128C

公开(公告)日：2004-11-10

申请号：CN01104042.4

申请日：2001-02-16

Applicant: 旭电化工业株式会社

Inventor： 小野泽和久 ,  山田直树

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/409

Abstract: 本发明涉及一种将化学式(I)所表示的金属化合物溶于化学式(II)所表示的环己烷化合物中所形成的金属化合物溶液：I式中，R1、R2和R3中的每一个代表具有1～8个碳原子的、卤素取代或未取代的烷基基团，而且在其主链上可能含有一个氧原子；R4代表具有2～18个碳原子的直链或支链的亚烷基；M代表铅原子、钛原子或锆原子；当M是铅原子时，l、m和n分别为0、2和0；当M是钛原子或锆原子时，n为0或1，而l和m各自为满足下列等式的、0至4之间的一个整数：l+m+2n＝4；II式中，R5为氢原子或具有1～4个碳原子的烷基基团；p为1或2。