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公开(公告)号：CN1573574A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410063178.7
申请日：2004-05-21
Applicant: 旭化成电子株式会社
Inventor： 栗山芳真 , 脇元一郎
IPC: G03F7/20 , G12B9/00
Abstract: 为了提供一种能够容易地控制大型薄壳的、能够容易地对它进行充分的检查的支撑装置，如本发明大型薄壳支撑装置的代表性结构的大型薄壳的支撑装置，具有平衡装置，安装在前述平衡装置上的附属装置，以及与前述附属装置接合而且与薄壳的框架相嵌合的固定器。
