公开(公告)号：CN1573574A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410063178.7

申请日：2004-05-21

Applicant: 旭化成电子株式会社

Inventor： 栗山芳真 ,  脇元一郎

IPC: G03F7/20 ,  G12B9/00

Abstract: 为了提供一种能够容易地控制大型薄壳的、能够容易地对它进行充分的检查的支撑装置，如本发明大型薄壳支撑装置的代表性结构的大型薄壳的支撑装置，具有平衡装置，安装在前述平衡装置上的附属装置，以及与前述附属装置接合而且与薄壳的框架相嵌合的固定器。

公开(公告)号：CN1603951A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN200410083325.7

申请日：2004-09-29

Applicant: 旭化成电子株式会社

Inventor： 栗山芳真 ,  腋元一郎

IPC: G03F1/14 ,  G02F1/136

Abstract: 在将张贴在框体上的大型薄片膜贴装到光掩模上时，为了防止前述大型薄片膜产生皱褶，在由面积在1000cm2以上的薄片膜、及用于展开并贴装支撑薄片膜的具有一对长边和一对短边的框体构成的大型薄片中，框体的至少一对长边向框体外侧突出，并且，通过将薄片膜展开张设于框体上，框体的长边中央部与长边端部相比向内侧凹入。