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公开(公告)号:CN1185723C
公开(公告)日:2005-01-19
申请号:CN99810419.1
申请日:1999-08-06
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: G01R33/09 , G01R33/06 , H01L43/10 , Y10T428/11
Abstract: 在衬底(1)上边形成一种电子浓度大于2×1016/cm3且具有InxGa1-xAsySb1-y(0<x≤1,0≤y≤1)的组分的薄膜(2)。采用设定薄膜(2)的组分和向薄膜(2)内掺进施主原子的办法降低了电阻的温度依赖性。借助于此,提供具有小的器件电阻的温度依赖性和高灵敏度的磁传感器。
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