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公开(公告)号:CN116648617A
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN202180085269.2
申请日:2021-12-15
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
IPC: G01N21/952
Abstract: 本发明的外观检查装置具备:旋转部,其在载有被检查物的状态下旋转;反射镜部,其以在旋转部载有所述被检查物的状态下,反射所述被检查物的方式设置;摄像部,其拍摄反射镜部反射的所述被检查物;调节部,其使所述摄像部相对于反射镜部反射的所述被检查物的拍摄角度发生变化;检查部,其基于由摄像部拍摄的图像数据,对所述被检查物的表面进行检查。
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公开(公告)号:CN118369567A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202380015097.0
申请日:2023-01-05
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
IPC: G01N21/84 , G01N21/952
Abstract: 姿势变更装置具有:第一输出轴,其能够绕第一旋转轴线旋转;第一部件,其能够通过第一输出轴的旋转而绕第一输出轴旋转;第二输出轴,其配置于第一部件,能够绕相对于第一旋转轴线具有角度地倾斜的第二旋转轴线旋转;第二部件,其配置于第一部件,保持被检查物,能够通过第二输出轴的旋转而绕第二旋转轴线旋转;第一致动器,其使第一输出轴在规定的角度范围内正反旋转;第二致动器,其使第二输出轴在规定的角度范围内正反旋转。
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公开(公告)号:CN116569026A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202180080879.3
申请日:2021-12-01
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明的检查路径生成装置生成基于拍摄部拍摄到的图像来进行检查对象物的外观检查的外观检查装置的检查路径,其包括:存储部,该存储部存储表示所述拍摄部进行所述检查对象物的拍摄的多个检查位置的检查位置信息和表示所述外观检查装置的结构的检查装置结构信息;以及路径决定部,该路径决定部基于所述检查位置信息和所述检查装置结构信息来计算当所述拍摄部在多个所述检查位置移动时的各检查位置间的路径长度和所述拍摄部的姿态变化量,并基于计算出的所述路径长度和所述姿态变化量来决定所述检查路径。
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