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公开(公告)号：CN101551589B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200910004721.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，作为平板显示器等的绝缘膜材料，具有正型感光特性、透明性、感光性、耐热性高、并且介电常数低。使用一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物作为绝缘膜材料，所述二氧化硅类正型感光性树脂组合物含有下述成分：成分(a)R1OCOASiX3(R1、A表示有机基团、X为水解性基团)表示的硅氧烷树脂；成分(b)具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)能溶解成分(a)的溶剂，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。
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公开(公告)号：CN101551589A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910004721.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，作为平板显示器等的绝缘膜材料，具有正型感光特性、透明性、感光性、耐热性高、并且介电常数低。使用一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物作为绝缘膜材料，所述二氧化硅类正型感光性树脂组合物含有下述成分：成分(a)：R1OCOASiX3(R1、A表示有机基团、X为水解性基团)表示的硅氧烷树脂；成分(b)：具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)：作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)：能溶解成分(a)的溶剂，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。
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公开(公告)号：CN101517487A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035435.8
申请日：2007-09-19
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027 , G03F7/022
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/0757 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，含有(a)成分：水解缩合包括由下述通式(1)表示的化合物的硅烷化合物而得到的硅氧烷树脂，(b)成分：溶解(a)成分的溶剂，以及(c)成分：醌二叠氮基磺酸酯化合物。式(1)中，R1表示有机基团，A表示2价有机基团，X表示水解性基团，同一分子内的多个X相同或不同。
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公开(公告)号：CN101517487B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200780035435.8
申请日：2007-09-19
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027 , G03F7/022
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/0757 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，含有(a)成分：水解缩合包括由下述通式(1)表示的化合物的硅烷化合物而得到的硅氧烷树脂，(b)成分：溶解(a)成分的溶剂，以及(c)成分：醌二叠氮基磺酸酯化合物。式(1)中，R1表示有机基团，A表示2价有机基团，X表示水解性基团，同一分子内的多个X相同或不同。
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