探针片的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101421630B

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN200780013302.0

    申请日:2007-03-27

    CPC classification number: G01R3/00 G01R1/06727

    Abstract: 本发明提供一种在各触头和探针片主体的结合作业中不进行针尖的麻烦的调整位置作业,就能将该针尖配置在准确的规定位置的探针片的制造方法。这种探针片的制造方法,探针片具备:具有导电电路的探针片主体;从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连接的多个触头。上述制造方法包含以下工序:通过利用光刻技术,在基座上从各针尖向基部依次堆积多个触头用的金属材料,从而在上述基座上形成多个触头;在上述基座上形成用保持在上述基座上的上述各触头的上述基部结合的探针片主体;与上述探针片主体一体地从上述基座上分离上述触头。

    探针片以及电连接装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101421629A

    公开(公告)日:2009-04-29

    申请号:CN200780013211.7

    申请日:2007-03-27

    CPC classification number: G01R1/0735 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供一种探针片,可以抑制正确定位在探针片主体上的触头的姿态由于上述探针片主体的变形而发生紊乱。该探针片包括:具有挠性的绝缘性合成树脂薄膜以及埋设在该合成树脂薄膜内的导电电路的探针片主体;从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连接的多个触头。在上述探针片主体内埋设有板状构件,该板状构件具有比上述合成树脂薄膜高的刚性,用于抑制上述触头区域的变形。

    电连接装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101421629B

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN200780013211.7

    申请日:2007-03-27

    CPC classification number: G01R1/0735 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供一种探针片,可以抑制正确定位在探针片主体上的触头的姿态由于上述探针片主体的变形而发生紊乱。该探针片包括:具有挠性的绝缘性合成树脂薄膜以及埋设在该合成树脂薄膜内的导电电路的探针片主体;从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连接的多个触头。在上述探针片主体内埋设有板状构件,该板状构件具有比上述合成树脂薄膜高的刚性,用于抑制上述触头区域的变形。

    探针片的制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101421630A

    公开(公告)日:2009-04-29

    申请号:CN200780013302.0

    申请日:2007-03-27

    CPC classification number: G01R3/00 G01R1/06727

    Abstract: 本发明提供一种在各触头和探针片主体的结合作业中不进行针尖的麻烦的调整位置作业,就能将该针尖配置在准确的规定位置的探针片的制造方法。这种探针片的制造方法,探针片具备:具有导电电路的探针片主体;从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连接的多个触头。上述制造方法包含以下工序:通过利用光刻技术,在基座上从各针尖向基部依次堆积多个触头用的金属材料,从而在上述基座上形成多个触头;在上述基座上形成用保持在上述基座上的上述各触头的上述基部结合的探针片主体;与上述探针片主体一体地从上述基座上分离上述触头。

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