公开(公告)号：CN1047894A

公开(公告)日：1990-12-19

申请号：CN90100791.9

申请日：1990-02-17

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 岛芳延 ,  大村雅纪 ,  大谷章 ,  荒木健治

IPC: C30B15/10 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/12 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/1052

Abstract: 一种单晶硅生产装置，包括一个置于石墨坩埚内的石英坩埚、隔板和加热器，隔板将石英坩埚中的熔融硅料分成两部分。内侧是单晶硅生长部分，外侧是材料熔化部分；加热器用以使单晶硅生长部分中的熔融硅料保持在适于单晶硅生长的温度下，并为熔化装进材料熔化部分的原材料提供热量；隔板上开有一些小孔。隔板的材料为不透明的石英玻璃。向材料熔化部分加入原材料而从单晶硅生长部分拉出单晶硅。熔融硅料通过隔板小孔由材料熔化部分流入晶体生长部分。

公开(公告)号：CN1018851B

公开(公告)日：1992-10-28

申请号：CN90100791.9

申请日：1990-02-17

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 岛芳延 ,  大村雅纪 ,  大谷章 ,  荒木健治

IPC: C30B15/10 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/12 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/1052

Abstract: 一种单晶硅生产装置，包括一个置于石墨坩埚内的石英坩埚、隔板和加热器，隔板将石英坩埚中的熔融硅料分成两部分，内侧是单晶硅生长部分，外侧是材料熔化部分；加热器用以使单晶硅生长部分中的熔融硅料保持在适于单晶硅生长的温度下，并为熔化装进材料熔化部分的原材料提供热量；隔板上开有一些小孔。隔板的材料为不透明的石英玻璃。向材料熔化部分加入原材料而从单晶硅生长部分拉出单晶硅。熔融硅料通过隔板小孔由材料熔化部分流入晶体生长部分。