公开(公告)号：CN100521274C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200580013310.6

申请日：2005-04-27

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山田智裕 ,  驹泽正人 ,  八田哲也 ,  根萩隆智

IPC: H01L41/22 ,  H01H57/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09

Abstract: 具备压电/电致伸缩体和两个以上电极的压电/电致伸缩致动器的检查方法。本检查方法，其特征在于，获取使压电/电致伸缩致动器振动时的频率特性，根据该频率特性，测量压电/电致伸缩致动器的位移量，是一种无需进行作为产品的实际驱动，不对压电/电致伸缩致动器进行分解/破坏，而能以高精度检查压电/电致伸缩致动器的方法。

公开(公告)号：CN1947271A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200580013310.6

申请日：2005-04-27

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山田智裕 ,  驹泽正人 ,  八田哲也 ,  根萩隆智

IPC: H01L41/22 ,  H01H57/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09

Abstract: 具备压电/电致伸缩体和两个以上电极的压电/电致伸缩致动器的检查方法。本检查方法，其特征在于，获取使压电/电致伸缩致动器振动时的频率特性，根据该频率特性，测量压电/电致伸缩致动器的位移量，是一种无需进行作为产品的实际驱动，不对压电/电致伸缩致动器进行分解/破坏，而能以高精度检查压电/电致伸缩致动器的方法。