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公开(公告)号：CN100521274C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200580013310.6
申请日：2005-04-27
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 具备压电/电致伸缩体和两个以上电极的压电/电致伸缩致动器的检查方法。本检查方法，其特征在于，获取使压电/电致伸缩致动器振动时的频率特性，根据该频率特性，测量压电/电致伸缩致动器的位移量，是一种无需进行作为产品的实际驱动，不对压电/电致伸缩致动器进行分解/破坏，而能以高精度检查压电/电致伸缩致动器的方法。
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公开(公告)号：CN1947271A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580013310.6
申请日：2005-04-27
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 具备压电/电致伸缩体和两个以上电极的压电/电致伸缩致动器的检查方法。本检查方法，其特征在于，获取使压电/电致伸缩致动器振动时的频率特性，根据该频率特性，测量压电/电致伸缩致动器的位移量，是一种无需进行作为产品的实际驱动，不对压电/电致伸缩致动器进行分解/破坏，而能以高精度检查压电/电致伸缩致动器的方法。
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公开(公告)号：CN100380699C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200510059977.1
申请日：2005-04-04
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/0292 , G01N9/002 , G01N9/36 , G01N11/16 , H01L41/0973
Abstract: 本发明的目的是提供灵敏度高的传感器元件。本发明提供的压电/电致伸缩膜元件是由在周边部上拥有较厚部的较薄隔板部的陶瓷形成的基板上，顺次叠置下部电极及辅助电极、压电/电致伸缩膜、和上部电极形成。其中，上部电极的长度为较薄隔板部的长度的30%以上(含30%)70%以下(含70%)。
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公开(公告)号：CN1681141A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510059977.1
申请日：2005-04-04
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/0292 , G01N9/002 , G01N9/36 , G01N11/16 , H01L41/0973
Abstract: 本发明的目的是提供灵敏度高的传感器元件。本发明提供的压电/电致伸缩膜元件是由在周边部上拥有较厚部的较薄隔板部的陶瓷形成的基板上，顺次叠置下部电极及辅助电极、压电/电致伸缩膜、和上部电极形成。其时，上部电极的长度为较薄隔板部的长度的30％以上(含 30％)70％以下(含70％)。
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