公开(公告)号：CN116806412A

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN202180089364.X

申请日：2021-12-24

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山本岳士 ,  浅井圭一郎 ,  藤田直辉

IPC: H03H3/08

Abstract: 本发明提供将弹性波的能量限制于压电层且耐久性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板具有压电层和反射层，该反射层配置于所述压电层的背面侧，且包括高阻抗层和包含氧化硅的低阻抗层，在所述压电层的背面侧的端部形成有改性层，所述低阻抗层的密度为2.15g/cm3以上。

公开(公告)号：CN116491070A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202180019530.9

申请日：2021-08-24

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山本岳士 ,  鹈野雄大 ,  伊奈弘善 ,  浅井圭一郎 ,  多井知义

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明提供将弹性波的能量限制于压电层且耐热性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板具有压电层和在所述压电层的背面侧所配置的反射层，所述反射层包括高阻抗层和包含氧化硅的低阻抗层，所述高阻抗层中的第一结构的区域超过70％。

公开(公告)号：CN118891824A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202380025124.2

申请日：2023-02-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山本岳士 ,  藤田直辉 ,  浅井圭一郎

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

Abstract: 本发明提供耐久性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板按以下顺序具有：压电层；反射层，其包括含有氧化硅的低阻抗层及高阻抗层；以及支撑基板，所述低阻抗层的密度为2.4g/cm3以下，在所述高阻抗层形成有非晶质区域。