公开(公告)号：CN114868266A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202180007200.8

申请日：2021-01-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 多井知义 ,  鹈野雄大 ,  浅井圭一郎 ,  服部良祐 ,  丹羽真人 ,  滑川政彦

IPC: H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/31

Abstract: 本发明的课题在于，能够抑制由压电振动元件安装时施加的加热、超声波振动及施重所导致的裂纹或缺口。[0012]压电振动元件11具备：由块状的压电性材料形成的压电层2A、压电层2A的第一面2a上的下部电极3以及接合于下部电极3的支撑基板5。

公开(公告)号：CN115004394A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202080030783.1

申请日：2020-12-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 鹈野雄大 ,  多井知义 ,  浅井圭一郎 ,  丹羽真人

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/312 ,  C04B37/00 ,  G02B26/08

Abstract: 在包含高刚性陶瓷的振动板与支撑基板的接合体的基础上，提供能够维持振动板的强度且防止振动板的剥离或开裂的结构。振动板接合体5具备：支撑基板3，其包含硅；振动板1A，其包含高刚性陶瓷且厚度为100μm以下；以及接合层2，其包含α－Si，位于支撑基板3与振动板1A之间，并与振动板1A的接合面1a接触。振动板1A的接合面1a的算术平均粗糙度Ra为0.01nm以上10.0nm以下，振动板1A的接合面1a的蚀坑密度为每100μm2具有10个以上。