气密封装体的制造方法及气密封装体

    公开(公告)号:CN108886026A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201780020574.7

    申请日:2017-03-22

    Inventor: 白神彻 冈卓司

    CPC classification number: H01L23/10 H01L33/48

    Abstract: 本发明的气密封装体的制造方法的特征在于,具备以下工序:准备氮化铝基体并在氮化铝基体上形成烧结玻璃含有层的工序、准备玻璃盖并在玻璃盖上形成密封材料层的工序、以烧结玻璃含有层与密封材料层接触的方式配置氮化铝基体和玻璃盖的工序、以及从玻璃盖侧向密封材料层照射激光,使密封材料层软化变形,由此将烧结玻璃含有层与密封材料层气密密封,获得气密封装体的工序。

    气密封装体的制造方法及气密封装体

    公开(公告)号:CN109075128B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN201780025389.7

    申请日:2017-04-28

    Inventor: 白神彻 冈卓司

    Abstract: 本发明的气密封装体的制造方法的特征在于,具备以下工序:准备陶瓷基体的工序;准备玻璃盖的工序;在玻璃盖上形成所要照射的激光的波长下的厚度方向的总光线透射率成为10%以上且80%以下的密封材料层的工序;经由密封材料层,层叠配置玻璃盖与陶瓷基体的工序;以及从玻璃盖侧向密封材料层照射激光,使密封材料层软化变形,由此将陶瓷基体和玻璃盖气密一体化,而得到气密封装体的工序。

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