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发明公开
激光加工用保护片以及激光加工品的制造方法失效

公开(公告)号：CN1898056A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038742.8

申请日：2004-11-02

Applicant: 日本电工株式会社

Inventor： 浦入正胜 , 日野敦司 , 松尾直之 , 高桥智一 , 松村健 , 山本昌司

IPC: B23K26/18 , H01L21/301 , C09J7/02

Abstract: 本发明提供一种激光加工用保护片(2)，当利用激光(7)的紫外吸收烧蚀对工件(1)进行时，能够有效地抑制分解物所引起的工件表面的污染。另外，提供一种使用激光加工用保护片(2)的激光加工品(10)的制造方法。在利用激光(7)的紫外吸收烧蚀对工件(1)进行加工时，激光加工用保护片(2)被设置在工件(1)的激光入射面一侧。

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