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公开(公告)号:CN115769046A
公开(公告)日:2023-03-07
申请号:CN202080102437.X
申请日:2020-12-18
Applicant: 日本电产株式会社
IPC: G01B11/14
Abstract: 测定系统(100)是用于测定对检查对象的状态变化进行检测的多个传感器(9)各自的检测位置(P)的间隔的系统。多个传感器(9)包括第一传感器(9a)和第二传感器(9b)。测定系统(100)具有状态变化部(2)和移动部(3)。状态变化部(2)包括在第一方向上隔开第一间隔配置的第一状态变化部(21)和第二状态变化部(22)。状态变化部(2)通过多个传感器(9)检测状态的变化。移动部(3)使状态变化部(2)和多个传感器(9)相对地移动。
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公开(公告)号:CN115917247A
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN202080102462.8
申请日:2020-12-22
Applicant: 日本电产株式会社
IPC: G01B11/26
Abstract: 倾斜测量装置具有第一激光位移计和第二激光位移计。第一激光位移计对测量对象物照射第一激光来测量测量对象物的位移。第二激光位移计对测量对象物照射第二激光来测量测量对象物的位移。反射构件位于相对于第一激光的光路和第二激光的光路的退避位置或进入位置。在反射构件位于退避位置的情况和位于进入位置的情况这两者时,第一激光位移计和第二激光位移计测量测量对象物的位移。反射构件在进入位置时改变第一激光和第二激光的前进方向,使第一激光和第二激光朝向测量对象物进行反射。
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