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公开(公告)号:CN109283220A
公开(公告)日:2019-01-29
申请号:CN201810788044.3
申请日:2018-07-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N25/20
Abstract: 提供质量分析装置和质量分析方法。一种质量分析装置(200),其具有加热含有第一物质和在比第一物质高的温度下气化的第二物质的试样而产生气体成分的加热部(10),检测通过加热部而生成的气体成分,所述质量分析装置(200)具有:加热控制部(212),其以第一温度(T1)对加热部进行加热直至达到第一时间(t1),在超过了第一时间时,对加热部进行加热直至达到使第二物质的气体产生的第二温度(T2),该第一温度(T1)和第一时间(t1)是预先求出的使第一物质的气体产生而不使第二物质的气体产生的温度和时间条件;以及分析控制部(219),其在第一温度下,在分配给第一物质的第一测定条件下进行质量分析,直至达到所述第一时间,在第二温度下,在分配给第二物质的第二测定条件下进行质量分析。
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公开(公告)号:CN104076052A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410112835.6
申请日:2014-03-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N23/223
CPC classification number: G01N23/223 , G01N2223/076 , G01N2223/31 , H05G1/025
Abstract: 本发明提供荧光X射线分析装置,其能够通过比较简单的结构和控制来抑制输出强度的变动。该荧光X射线分析装置(1)具有:X射线源(2),其对试样S照射原级X射线;聚光元件(3),其会聚从X射线源照射的原级X射线,减小对于试样的照射面积;检测器(4),其对从被照射原级X射线的试样产生的荧光X射线进行检测;筐体(5),其收纳X射线源和聚光元件;温度传感器(6),其设置在X射线源和X射线源周围的至少一方;外气用扇(7),其在筐体上至少设置有一个,能够更换内部与外部的空气;以及控制部(C),其根据由温度传感器检测出的温度信息对外气用扇进行驱动,将X射线源周围的气氛温度调整为恒定的温度。
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公开(公告)号:CN104076052B
公开(公告)日:2019-02-12
申请号:CN201410112835.6
申请日:2014-03-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N23/223
Abstract: 本发明提供荧光X射线分析装置,其能够通过比较简单的结构和控制来抑制输出强度的变动。该荧光X射线分析装置(1)具有:X射线源(2),其对试样S照射原级X射线;聚光元件(3),其会聚从X射线源照射的原级X射线,减小对于试样的照射面积;检测器(4),其对从被照射原级X射线的试样产生的荧光X射线进行检测;筐体(5),其收纳X射线源和聚光元件;温度传感器(6),其设置在X射线源和X射线源周围的至少一方;外气用扇(7),其在筐体上至少设置有一个,能够更换内部与外部的空气;以及控制部(C),其根据由温度传感器检测出的温度信息对外气用扇进行驱动,将X射线源周围的气氛温度调整为恒定的温度。
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公开(公告)号:CN109283264B
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN201810770468.7
申请日:2018-07-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N30/02
Abstract: 提供产生气体分析装置和产生气体分析方法,提高气体成分的检测精度而不会使装置大型化。产生气体分析装置(200)具有:气体成分产生部(10);检测气体成分(G)的检测单元(110);混合气体流路(41),将气体成分产生部与检测单元之间连接起来,供气体成分与将气体成分向所述检测单元引导的载气(C)的混合气体(M)流动,产生气体分析装置(200)还具有:分支路(42),从混合气体流路分支而向外部开放;惰性气体流路(19f),在分支路的下游侧与混合气体流路在合流部(45)处合流,供惰性气体(T)流动;调整载气的流量(F1)的第一流量调整机构(18v);调整惰性气体流路中流动的惰性气体的流量(F4)的第二流量调整机构(19v);流量控制部(216),控制第二流量调整机构使得向检测单元引导的混合气体的流量成为规定值。
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公开(公告)号:CN109283264A
公开(公告)日:2019-01-29
申请号:CN201810770468.7
申请日:2018-07-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N30/02
CPC classification number: H01J49/0422 , G01N33/0021 , G01N33/442 , H01J49/0031 , G01N30/02
Abstract: 提供产生气体分析装置和产生气体分析方法,提高气体成分的检测精度而不会使装置大型化。产生气体分析装置(200)具有:气体成分产生部(10);检测气体成分(G)的检测单元(110);混合气体流路(41),将气体成分产生部与检测单元之间连接起来,供气体成分与将气体成分向所述检测单元引导的载气(C)的混合气体(M)流动,产生气体分析装置(200)还具有:分支路(42),从混合气体流路分支而向外部开放;惰性气体流路(19f),在分支路的下游侧与混合气体流路在合流部(45)处合流,供惰性气体(T)流动;调整载气的流量(F1)的第一流量调整机构(18v);调整惰性气体流路中流动的惰性气体的流量(F4)的第二流量调整机构(19v);流量控制部(216),控制第二流量调整机构使得向检测单元引导的混合气体的流量成为规定值。
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公开(公告)号:CN102654516B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201210052249.8
申请日:2012-03-01
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor: 广瀬龙介
IPC: G01Q10/00
Abstract: 本发明的目的在于,提供一种非光学杠杆方式或自检测型的位移检测的悬臂位移检测机构以及使用该悬臂位移检测机构的扫描型探头显微镜。利用由LC谐振器和F-V变换器构成的悬臂位移检测器,检测悬臂与试样表面间的静电电容变化,从而能够检测悬臂的位移。由此,能够在遮断光的状态下进行形状测定或物性测定,并且,能够测定由于有光无光引起的试样的形状或物性信息的变化。
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