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公开(公告)号：CN117158115A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202280018005.X
申请日：2022-02-09
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/48
Abstract: 本发明提供一种提高了可靠性的护套加热器。或者，提供一种具有提高了可靠性的护套加热器的基板支撑装置。本发明的护套加热器具有第一金属线、与第一金属线的第一端部连接的第一端子、与第一端子连接并与第二金属线连接的第一导电柔性部件、与第一金属线的第二端部连接的第二端子、以及与第二端子连接并与第三金属线连接的第二导电柔性部件，第一导电柔性部件与第二导电柔性部件邻接布置。
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