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1.

发明公开
基板收容装置无效

公开(公告)号：CN111668143A

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN202010124358.0

申请日：2020-02-27

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 上野宏优 , 小野田正敏

IPC: H01L21/677 , H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种可在外壳内冷却或加热经加热后的基板，并且可提高处理量的基板收容装置。本发明的解决手段为一种基板收容装置(10)，其具备：外壳(11)，在内部呈真空的状态下收容多片基板(S)；温度改变装置(40)，改变被收容于外壳(11)内的基板(S)的温度；以及移送机构(20)，在以既定间隔分离的状态下保持被收容于外壳(11)内的多片基板(S)，并且在外壳(11)内，将基板(S)从由外壳(11)的外部所送入的送入位置(F)，移送到用以送出至外壳(11)的外部的送出位置(E)为止；且移送机构(20)构成为：伴随着新的基板(S)被收容于外壳(11)内，从先被收容于外壳(11)的基板(S)开始依次移送到送出位置(E)。

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