公开(公告)号：CN1584631B

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200410057004.X

申请日：2004-08-20

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 保坂和义 ,  周藤真理子 ,  铃木正睦

IPC: G02B5/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明为了适应滤色器的薄膜化，提供即使提高染料浓度也不会发生产生异物等问题的有色抗蚀剂组合物以及使用其的滤色器。其解决方案是提供含有酮醇类溶剂的含染料的抗蚀剂组合物。含有树脂、光产酸剂或者光产碱剂、交联性化合物、染料以及酮醇类溶剂的负型抗蚀剂组合物。含有树脂、光自由基发生剂、交联性化合物、染料以及酮醇类溶剂的负型抗蚀剂组合物。含有树脂、光产酸剂、交联性化合物、染料以及酮醇类溶剂的正型抗蚀剂组合物。酮醇为β-羟基酮的抗蚀剂组合物。酮醇为4-羟基-4-甲基-2-戊酮的抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1584631A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：CN200410057004.X

申请日：2004-08-20

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 保坂和义 ,  周藤真理子 ,  铃木正睦

IPC: G02B5/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明为了适应滤色器的薄膜化，提供即使提高染料浓度也不会发生产生异物等问题的有色抗蚀剂组合物以及使用其的滤色器。其解决方案是提供含有酮醇类溶剂的含染料的抗蚀剂组合物。含有树脂、光产酸剂或者光产碱剂、交联性化合物、染料以及酮醇类溶剂的负型抗蚀剂组合物。含有树脂、光自由基发生剂、交联性化合物、染料以及酮醇类溶剂的负型抗蚀剂组合物。含有树脂、光产酸剂、交联性化合物、染料以及酮醇类溶剂的正型抗蚀剂组合物。酮醇为β－羟基酮的抗蚀剂组合物。酮醇为4－羟基－4－甲基－2－戊酮的抗蚀剂组合物。