磁控等离子体成膜装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113631752B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202080023691.0

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 磁控溅射成膜装置(1)具备成膜辊(14)和与成膜辊(14)相对配置的磁控等离子体单元(15)。磁控等离子体单元(15)具备:旋转靶(16),其轴线在与成膜辊(14)的轴线相同的方向上延伸;和磁体单元(200),其配置于旋转靶(16)的径向内侧。在下述中所求出的角度(θ)是30度以下。在旋转靶(16)的外周面上,朝向旋转靶(16)的圆周方向的一方向测定旋转靶(16)的磁通密度的切线方向分量。求出连结相当于磁通密度的最大的切线方向分量的点(MAX_P)和旋转靶(16)的中心的线段(LS1)与连结相当于磁通密度的最小的切线方向分量的点(MIN_P)和中心的线段(LS2)所成的角度(θ)。

    片材的检查装置和检查方法

    公开(公告)号:CN108139337A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680061620.3

    申请日:2016-07-25

    CPC classification number: G01B11/30 G01N21/892

    Abstract: 一种片材的检查装置,对沿着移动路径移动的带状的片材进行检查,该片材的检查装置具备:能够移动的支架;以及检查部,其被所述支架支承,对所述片材进行检查,所述检查部具有:光源部,其对所述片材照射光;以及摄像部,其构成为在所述支架被配置于所述移动路径中的任意位置的状态下能够调整相对于所述片材的相对的拍摄位置和拍摄角度,并且对被所述光源部照射着光的所述片材进行拍摄。

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