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公开(公告)号:CN108886011A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201780018295.7
申请日:2017-03-14
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
Abstract: 本发明提供一种夹持力较高、难以污染被加工物(被输送物)且耐热性优异的输送固定夹具。本发明的输送固定夹具具有第1基材、碳纳米管集合体以及配置在该第1基材与该碳纳米管集合体之间的粘接剂层,该第1基材和该碳纳米管集合体借助该粘接剂层相接合,该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7~1.8。
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