公开(公告)号：CN106086823A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610557652.4

申请日：2016-07-15

Applicant: 新疆大学

Inventor： 何哲 ,  余梅 ,  陈恒雷 ,  张红燕 ,  陈艳华

IPC: C23C18/12

CPC classification number: C23C18/1254 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1245 ,  C23C18/1295

Abstract: 本发明提供了一种丝网印刷辅助溶胶‑凝胶法制备掺杂ZnO薄膜的方法，该方法包括衬底材料的筛选及表面处理、掺杂ZnO溶胶的配制、丝网印刷掺杂ZnO薄膜和高温退火等步骤。优选地，在丝网印刷辅助溶胶‑凝胶法制备掺杂ZnO薄膜的步骤中还包括丝网印刷掺杂ZnO薄膜过程中丝网目数的优化、薄膜厚度和退火温度的调控的步骤，经过上述处理可得到室温下低电阻率和高效率紫外激光发射的掺杂ZnO薄膜。