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公开(公告)号：CN114709158A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111535843.8
申请日：2021-12-15
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本公开涉及一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘包括：基体，其具有放置吸附目标对象的放置表面；电极，其埋入在基体中。基体设置有向放置表面侧开口且未到达电极的凹槽。在凹槽的底表面与电极之间，从靠近凹槽的一侧起沿基体的厚度方向依次布置由陶瓷制成的低电阻区域和由体积电阻率高于低电阻区域的陶瓷制成的高电阻区域。
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