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公开(公告)号:CN102654642A
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN201210053944.6
申请日:2012-03-02
Applicant: 斯坦雷电气株式会社
Inventor: 四十物孝宪
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 本发明提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括:反射镜;可动框,其用于支承反射镜;支承体,其包围可动框;以及用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。在该光偏转器中,压电致动器在每个致动器处折返并且从支承体连接到可动框。每个压电致动器都与反射镜的一个轴平行。驱动器生成具有第一锯齿波的第一驱动电压并将第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器生成具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并将第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一锯齿波和第二锯齿波之间的相位差为预定值,以抑制取决于压电致动器的、反射镜关于其轴的机械振动系统的固有频率。
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公开(公告)号:CN102654643A
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN201210054412.4
申请日:2012-03-02
Applicant: 斯坦雷电气株式会社
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 使用复合正弦波驱动电压的光偏转器的驱动器及其设置方法。光偏转器包括反射镜、支撑反射镜的可动框、围绕可动框的支撑体和用作悬臂的交替的第一组压电致动器及第二组压电致动器,压电致动器在各自处折返并从支撑体连接到可动框,且分别平行于反射镜的一个轴。生成第一组压电致动器的第一驱动电压,其具有包含第一上升周期及下降周期的第一重复波。第一上升周期和下降周期中的一方大于另一方。生成第二组压电致动器的第二驱动电压,其具有包含与所述第一上升周期对应的第二下降周期和与所述第一下降周期对应的第二上升周期的第二重复波。第一和第二重复波的频率排除了反射镜的机械振动系统关于其轴的、取决于压电致动器的固有频率。
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公开(公告)号:CN102654642B
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201210053944.6
申请日:2012-03-02
Applicant: 斯坦雷电气株式会社
Inventor: 四十物孝宪
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 本发明提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括:反射镜;可动框,其用于支承反射镜;支承体,其包围可动框;以及用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。在该光偏转器中,压电致动器在每个致动器处折返并且从支承体连接到可动框。每个压电致动器都与反射镜的一个轴平行。驱动器生成具有第一锯齿波的第一驱动电压并将第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器生成具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并将第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一锯齿波和第二锯齿波之间的相位差为预定值,以抑制所述第一驱动电压和所述第二驱动电压的谐波频率分量与取决于压电致动器的、反射镜关于其轴的机械振动系统的固有频率的共振。
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公开(公告)号:CN102654643B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201210054412.4
申请日:2012-03-02
Applicant: 斯坦雷电气株式会社
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 使用复合正弦波驱动电压的光偏转器的驱动器及其设置方法。光偏转器包括反射镜、支撑反射镜的可动框、围绕可动框的支撑体和用作悬臂的交替的第一组压电致动器及第二组压电致动器,压电致动器在各自处折返并从支撑体连接到可动框,且分别平行于反射镜的一个轴。生成第一组压电致动器的第一驱动电压,其具有包含第一上升周期及下降周期的第一重复波。第一上升周期和下降周期中的一方大于另一方。生成第二组压电致动器的第二驱动电压,其具有包含与所述第一上升周期对应的第二下降周期和与所述第一下降周期对应的第二上升周期的第二重复波。第一和第二重复波的频率排除了反射镜的机械振动系统关于其轴的、取决于压电致动器的固有频率。
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公开(公告)号:CN102692704B
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201210077887.5
申请日:2012-03-22
Applicant: 斯坦雷电气株式会社
Inventor: 四十物孝宪
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/10 , H02N2/0075
Abstract: 提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括:反射镜;可动框,其用于支承反射镜;支承体,其包围可动框;以及第一组压电致动器和与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。压电致动器从支承体连接到可动框。驱动器将具有相同波形的第一原始锯齿波和第二原始锯齿波组合为第一锯齿波。驱动器将具有第一锯齿波的第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器将具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一原始锯齿波和第二原始锯齿波之间的相位差为预定值,以抑制取决于压电致动器的、反射镜关于它的轴的机械振动系统的固有频率与反射镜的频率的一致。
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公开(公告)号:CN102692704A
公开(公告)日:2012-09-26
申请号:CN201210077887.5
申请日:2012-03-22
Applicant: 斯坦雷电气株式会社
Inventor: 四十物孝宪
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/10 , H02N2/0075
Abstract: 提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括:反射镜;可动框,其用于支承反射镜;支承体,其包围可动框;以及第一组压电致动器和与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。压电致动器从支承体连接到可动框。驱动器将具有相同波形的第一原始锯齿波和第二原始锯齿波组合为第一锯齿波。驱动器将具有第一锯齿波的第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器将具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一原始锯齿波和第二原始锯齿波之间的相位差为预定值,以抑制取决于压电致动器的、反射镜关于它的轴的机械振动系统的固有频率与反射镜的频率的一致。
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