公开(公告)号：CN114752911B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202210430415.7

申请日：2022-04-22

Applicant: 捷捷微电(南通)科技有限公司

Inventor： 谈晶 ,  陆帅龙 ,  薛文明

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的实施例提供了一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机，涉及半导体技术领域。行星式穹顶安装架包括行星轨道、行星支架、传动齿轮组、传动杆、万向节和穹顶插口组件，行星轨道为圆环形状，行星轨道的内壁上设置有内齿；行星支架可滑动地安装在行星轨道的内部；传动齿轮组安装在行星支架上，且与内齿啮合；传动杆安装在行星支架上，传动杆的一端与传动齿轮组连接；万向节安装在传动杆上；穹顶插口组件连接在万向节上。行星式穹顶安装架可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶公转和自转的效果，而且可以实现穹顶多角度转动。

公开(公告)号：CN114752911A

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202210430415.7

申请日：2022-04-22

Applicant: 捷捷微电(南通)科技有限公司

Inventor： 谈晶 ,  陆帅龙 ,  薛文明

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的实施例提供了一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机，涉及半导体技术领域。行星式穹顶安装架包括行星轨道、行星支架、传动齿轮组、传动杆、万向节和穹顶插口组件，行星轨道为圆环形状，行星轨道的内壁上设置有内齿；行星支架可滑动地安装在行星轨道的内部；传动齿轮组安装在行星支架上，且与内齿啮合；传动杆安装在行星支架上，传动杆的一端与传动齿轮组连接；万向节安装在传动杆上；穹顶插口组件连接在万向节上。行星式穹顶安装架可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶公转和自转的效果，而且可以实现穹顶多角度转动。