一种肖特基芯片IV不良曲线的测试筛选方法

    公开(公告)号:CN112698174B

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202011420743.6

    申请日:2020-12-08

    Abstract: 一种肖特基芯片IV不良曲线的测试筛选方法,涉及一种芯片测试工艺。测试盒给出50uA、100uA和500uA的反向电流,测试反向电压,并分别记录其反向电压数值为C、A和B;然后测试盒给出1mA的反向电流、10mA的正向电流、100mA的正向电流、1A的正向电流、3A的正向电流、5A的正向电流;计算|A‑B|的绝对值,设其绝对值为D;当数值D大于1时,IV曲线不良当数值D小于1时,IV曲线不存在异常;本发明步骤可快速、自动的对SBD芯片进行全检,降低了在客户端使用时产生曲线异常的概率。

    一种半导体晶圆切割装置及其工作方法

    公开(公告)号:CN109049376B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN201811101578.0

    申请日:2018-09-20

    Inventor: 郑晓波 方俊 梁瑶

    Abstract: 一种半导体晶圆切割装置及其工作方法。涉及半导体制造技术领域,尤其涉及晶圆的切割装置及其工作方法。提供了一种结构简单,划片可靠,降低背崩风险的半导体晶圆切割装置及其工作方法。包括立架、支撑组件、切割组件和定位组件,所述立架呈n形、具有横板和一对平行设置的竖板;所述支撑组件设在立架内、位于横板的下方,所述支撑组件包括基座,所述基座上设有用于放置晶圆的托盘,所述托盘旋转活动连接在基座上;所述收卷机构包括电机和绕轴,所述电机设在撑架的横端上,所述电机驱动绕轴,若干定位杆的顶端分别通过拉绳连接绕轴。本发明方便加工,操作可靠。

    一种避免晶圆误测的复测方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117316797A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311269945.9

    申请日:2023-09-28

    Abstract: 一种避免晶圆误测的复测方法。涉及半导体功率器件技术领域。包括以下步骤:步骤100,选用与待测晶圆匹配的探针卡装入探针台,探针卡上的探针通过测试线与测试机连接导通;将待测晶圆放置探针台的CHK盘上,通过探针台自动调整晶圆的水平度;步骤200,通过探针台预设的影像定位晶圆上第一颗管芯;步骤300,向上调整探针台的CHK盘,直至晶圆与探针卡上探针接触;步骤400,通过测试机给出的1mA电流,判断测试探针是否与第一颗管芯接触;本发明降低成本的同时又能有效的提高晶圆测试的准确性,避免误测,保证产品质量。

    一种肖特基芯片IV不良曲线的测试筛选方法

    公开(公告)号:CN112698174A

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN202011420743.6

    申请日:2020-12-08

    Abstract: 一种肖特基芯片IV不良曲线的测试筛选方法,涉及一种芯片测试工艺。测试盒给出50uA、100uA和500uA的反向电流,测试反向电压,并分别记录其反向电压数值为C、A和B;然后测试盒给出1mA的反向电流、10mA的正向电流、100mA的正向电流、1A的正向电流、3A的正向电流、5A的正向电流;计算|A‑B|的绝对值,设其绝对值为D;当数值D大于1时,IV曲线不良当数值D小于1时,IV曲线不存在异常;本发明步骤可快速、自动的对SBD芯片进行全检,降低了在客户端使用时产生曲线异常的概率。

    一种半导体晶圆切割装置及其工作方法

    公开(公告)号:CN109049376A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201811101578.0

    申请日:2018-09-20

    Inventor: 郑晓波 方俊 梁瑶

    CPC classification number: B28D5/04 B28D5/0058 B28D5/0082

    Abstract: 一种半导体晶圆切割装置及其工作方法。涉及半导体制造技术领域,尤其涉及晶圆的切割装置及其工作方法。提供了一种结构简单,划片可靠,降低背崩风险的半导体晶圆切割装置及其工作方法。包括立架、支撑组件、切割组件和定位组件,所述立架呈n形、具有横板和一对平行设置的竖板;所述支撑组件设在立架内、位于横板的下方,所述支撑组件包括基座,所述基座上设有用于放置晶圆的托盘,所述托盘旋转活动连接在基座上;所述收卷机构包括电机和绕轴,所述电机设在撑架的横端上,所述电机驱动绕轴,若干定位杆的顶端分别通过拉绳连接绕轴。本发明方便加工,操作可靠。

    半导体晶圆切割装置
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209566366U

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201821548623.2

    申请日:2018-09-20

    Inventor: 郑晓波 方俊 梁瑶

    Abstract: 半导体晶圆切割装置。涉及半导体制造技术领域,尤其涉及晶圆的切割装置。提供了一种结构简单,划片可靠,降低背崩风险的半导体晶圆切割装置。包括立架、支撑组件、切割组件和定位组件,所述立架呈n形、具有横板和一对平行设置的竖板;所述支撑组件设在立架内、位于横板的下方,所述支撑组件包括基座,所述基座上设有用于放置晶圆的托盘,所述托盘旋转活动连接在基座上;所述收卷机构包括电机和绕轴,所述电机设在撑架的横端上,所述电机驱动绕轴,若干定位杆的顶端分别通过拉绳连接绕轴。本实用新型方便加工,操作可靠。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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