基于双注意力机制的U-Net的晶圆表面缺陷检测方法

    公开(公告)号:CN116503337A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310379839.X

    申请日:2023-04-11

    Abstract: 本发明公开了基于双注意力机制的U‑Net的晶圆表面缺陷检测方法,包括:1)建立并处理晶圆表面缺陷样本集;2)搭建基于双注意力机制的U‑Net网络并训练;3)使用测试集对最终的网络进行分析测试。本发明通过在U‑Net网络中收缩路径与扩展路径的跳跃连接部分嵌入两种不同的注意力模块,在低层特征阶段采用通道注意力机制,增大位置及轮廓信息的权重,在高层特征阶段采用空间注意力机制,重点关注输入数据集中的缺陷部分,进一步增强了对目标的关注度;同时为了配合注意力机制,通过对输入的特征图使用膨胀卷积,增大感受野,解决了最大池化后一些细节的丢失问题,进一步提高了对晶圆表面缺陷检测准确率,从而在多种缺陷出现的情况下检测晶圆表面缺陷类型。

    纵横复合式犁头及使用该犁头的褐菇松土装置

    公开(公告)号:CN115500209B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202211138094.X

    申请日:2022-09-19

    Abstract: 本发明公开了纵横复合式犁头及使用该犁头的褐菇松土装置,纵横复合式犁头包括深度子犁头、水平子滚筒和预松铧式子犁头,预松铧式子犁头可以预先将褐菇苗床粗略松土,降低深度子犁头所受的土壤阻力;在纵向方向上,深度子犁头利用设计的螺旋传动刀片,可以将一定深度的土壤传送上来;在横向方向上,水平子滚筒上的螺旋破土刀面以及圆周平土刀片又可将传送上来的大块土壤进行粉碎;褐菇松土装置利用水平进给装置以及垂直进给装置实现在水平和垂直方向上的传动,节省了大量的使用空间,能较好适应褐菇苗床工厂化生产的环境,本发明可以很好地应用于褐菇工厂化生产的环境,能高效率的完成对褐菇苗床的松土工作,具有很大的市场前景和推广价值。

    纵横复合式犁头及使用该犁头的褐菇松土装置

    公开(公告)号:CN115500209A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211138094.X

    申请日:2022-09-19

    Abstract: 本发明公开了纵横复合式犁头及使用该犁头的褐菇松土装置,纵横复合式犁头包括深度子犁头、水平子滚筒和预松铧式子犁头,预松铧式子犁头可以预先将褐菇苗床粗略松土,降低深度子犁头所受的土壤阻力;在纵向方向上,深度子犁头利用设计的螺旋传动刀片,可以将一定深度的土壤传送上来;在横向方向上,水平子滚筒上的螺旋破土刀面以及圆周平土刀片又可将传送上来的大块土壤进行粉碎;褐菇松土装置利用水平进给装置以及垂直进给装置实现在水平和垂直方向上的传动,节省了大量的使用空间,能较好适应褐菇苗床工厂化生产的环境,本发明可以很好地应用于褐菇工厂化生产的环境,能高效率的完成对褐菇苗床的松土工作,具有很大的市场前景和推广价值。

    基于三轴联动的洗刮集成免拆卸减震横置陶瓷膜清洗装置及其工作过程

    公开(公告)号:CN117771952A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311791636.8

    申请日:2023-12-25

    Abstract: 本发明涉及平板陶瓷膜技术领域,特别公开了基于三轴联动的洗刮集成免拆卸减震横置陶瓷膜清洗装置及其工作过程,包括抗震式弹簧机构、三轴联动的高压反冲洗机构、横置式陶瓷膜板箱体和可调距式刮泥机构,所述抗震式弹簧机构安装于横置式陶瓷膜板箱体的下方,所述三轴联动的高压反冲洗机构的位置位于横置式陶瓷膜板箱体的一侧;所述可调距式刮泥机构的位置位于远离三轴联动的高压反冲洗机构的一侧。本发明通过抗震式弹簧机构,采用抗震式弹簧结构保证稳定性,将竖直方向与水平方向的弹簧减震相结合,通过将竖直方向的震动冲击力转化为竖直方向与水平方向的震动冲击力,大大降低了震动冲击力对横置式陶瓷膜板的破坏。

    基于余弦偏置自注意力的陶瓷膜板表面缺陷快速定位方法

    公开(公告)号:CN117557509A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311419333.3

    申请日:2023-10-30

    Abstract: 本发明属于陶瓷膜表面缺陷定位领域,具体公开一种基于余弦偏置自注意力的陶瓷膜板表面缺陷快速定位方法该方法在自注意力机制中引入了余弦偏置学习,包括数据采集:基于工业相机的陶瓷膜板表面图像数据采集及划分;特征提取预处理,基于余弦偏置自注意力机制骨干网络的图像特征图构建;粗定位,对缺陷区域粗略定位;精定位,基于网络模型训练的缺陷区域筛选调整及准确定位。与现有技术相比,本发明在自注意力机制中引入了余弦偏置学习,从而提高了缺陷定位的效率;采用多窗口移位法增加空间通道数量,实现单窗口与其他窗口的多通道通信,提高了不同窗口之间特征信息交互的效率。

    基于区域蚁群路径规划的褐菇针式间苗系统及应用方法

    公开(公告)号:CN115530015A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211138481.3

    申请日:2022-09-19

    Abstract: 本发明公开了基于区域蚁群路径规划的褐菇针式间苗系统及应用方法,其中间苗系统的路径规划算法先进性表现在以下两个方面,首先,不均匀分布初始信息素值可以使得规划的路径,具有向目标点方向前进的启发性,减少路径规划的时间,大大提高了收敛速度;其次,利用改进算法即启发函数的改进以及路径总和的判断,来实现在启发函数指引下快速靠近目标的同时,又能确保规划路径最优;本发明利用针状机械手末端可以实现对相距较近褐菇的采摘,并能很大程度上减少对褐菇的损伤,具有更为广泛的应用空间;利用球齿轮控制机械手实现多角度的调整,针对生长位姿倾斜的褐菇也能从中心穿刺实现摘取功能。

    用于晶圆干燥的多连杆滑块开合式晶舟承载装置

    公开(公告)号:CN220553412U

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202320929936.7

    申请日:2023-04-23

    Abstract: 本实用新型设计了一种用于晶圆干燥的多连杆滑块开合式晶舟承载装置,其特征包括:驱动机构、传动机构、摆动机构、支撑柱、承载平台以及晶舟。晶圆片放置于晶舟中,晶舟放置在承载平台上,通过利用摆动机构使承载平台达到开合的运动效果,进而使晶舟产生微幅摆动,令晶舟内的晶圆片不断地随晶舟发生向左、向右倾斜。本实用新型很好的解决了晶圆片与晶舟之间相接触部分水分不易干燥的问题,提高了干燥效率与干燥效果。

    一种滑块螺旋槽并联摆杆式晶舟微动摇摆驱动装置

    公开(公告)号:CN219869040U

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202320785894.4

    申请日:2023-04-11

    Abstract: 本实用新型公开了一种滑块螺旋槽并联摆杆式晶舟微动摇摆驱动装置,包括多摆杆传动及摇摆机构、导杆滑块螺旋槽机构和晶舟,导杆滑块螺旋槽机构安装在整个装置左侧,导杆滑块螺旋槽机构通过支撑柱固定在底板上;多摆杆传动及摇摆机构安装在整个装置的右侧,多摆杆传动及摇摆机构与导杆滑块螺旋槽机构采用传动摆杆进行连接,并通过固定支撑柱固定在底板上;晶舟放置在多摆杆传动及摇摆机构的工作平台上的限位板块中,由多摆杆传动及摇摆机构带动晶舟进行微动摇摆,从而使得晶舟中的晶圆充分干燥。本实用新型承载能力更大,易于自锁,便于操作,满足了晶圆片变幅平稳无冲击的摇摆动作要求,提高了晶圆干燥工艺的良品率。

    稳定测距滑移式陶瓷膜板超声检测头平移装置

    公开(公告)号:CN221148588U

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202322822797.0

    申请日:2023-10-20

    Applicant: 扬州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种稳定测距滑移式陶瓷膜板超声检测头平移装置,包括夹具装置、伸缩套筒装置、超声检测滑动装置、多级导轨装置以及滚轮装置。本实用新型采用内嵌固‑移导轨的纵横双向伸缩套筒式平移装置,带动超声探伤头在水平方向上双向移动并精准定位,在夹具装置的固定下,可以对不同尺寸的陶瓷膜板进行全覆盖的超声检测,提高超声检测效率;采用按压回弹式的超声探伤头限位装置,带动超声探伤头在垂直方向移动并准确限位,可实现超声探伤头与工件之间的垂直方向测距恒定,从而保证超声检测的可重复性和可再现性。

Patent Agency Ranking