公开(公告)号：CN116594200A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202310570198.6

申请日：2023-05-19

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 唐婷婷 ,  何珂 ,  李杰 ,  李朝阳 ,  康同同

IPC: G02F1/00 ,  G02F1/01 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18

Abstract: 本发明公开了一种用于光场调制的大规模高效有源超表面器件，其结构包括两种形式，分别为光开关器件和光反射器件，光开关器件包括自下而上依次排布的基底、相变材料薄膜和金属薄膜，相变材料薄膜的厚度小于基底的厚度，且大于金属薄膜的厚度；光反射器件包括自下而上依次排布的基底、相变材料薄膜、介质层和金属薄膜，相变材料薄膜的厚度均大于介质层的厚度和金属薄膜的厚度，且小于基底的厚度，介质层的厚度大于金属薄膜的厚度。本发明采用上述的一种用于光场调制的大规模高效有源超表面器件，解决了现有近红外波段光学器件体积大，透射率低，在波长或者亚波长尺寸上进行光束操纵的性能有限及超表面器件的结构加工困难，传输转化效率低下的问题。