公开(公告)号：CN108780773A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201780015129.1

申请日：2017-02-02

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 林奕宽 ,  C·瓦尔德弗里德 ,  J·M·格拉斯科欧

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明涉及一种具有整体非弧形顶表面状突部的静电吸盘，所述突部具有与椭圆的部分类似的边缘表面。所述突部的结构导致由所支撑衬底与所述吸盘之间的交互生成的微粒材料减少。通过改善所述突部表面的平滑化及平坦化来达成降低刮擦、打磨、磨损及微粒生成的水平。

公开(公告)号：CN108780773B

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN201780015129.1

申请日：2017-02-02

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 林奕宽 ,  C·瓦尔德弗里德 ,  J·M·格拉斯科欧

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种具有整体非弧形顶表面状突部的静电吸盘，所述突部具有与椭圆的部分类似的边缘表面。所述突部的结构导致由所支撑衬底与所述吸盘之间的交互生成的微粒材料减少。通过改善所述突部表面的平滑化及平坦化来达成降低刮擦、打磨、磨损及微粒生成的水平。