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公开(公告)号：CN110199053A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201880006748.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： 林奕宽 , C·瓦尔德弗里德 , J·侯
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56 , C23C16/44
Abstract: 与具有优良耐化学性和结构完整性的涂层相关的制品和方法可以在介于约150℃与低于300℃之间的低处理温度下通过原子层沉积和氟退火制备。所述膜包含含有钇的氟化金属氧化物。
公开(公告)号：CN119121186A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411269980.5
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/56
Abstract: 本申请涉及用氟退火膜涂布的制品。与具有优良耐化学性和结构完整性的涂层相关的制品和方法可以在介于约150℃与低于300℃之间的低处理温度下通过原子层沉积和氟退火制备。所述膜包含含有钇的氟化金属氧化物。
