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公开(公告)号：CN111566255A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880086065.9
申请日：2018-12-18
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/44 , C23C16/458 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 本发明描述了多层涂层、涂有多层涂层的基板(即，物品)以及通过原子层沉积制备多层涂层的方法，其中所述涂层包括氧化铝层和氧化钇层。
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