公开(公告)号：CN112956000B

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN201980070788.4

申请日：2019-10-21

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： A·优维斯 ,  S·E·毕夏普

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L21/324

Abstract: 本发明描述经硼掺杂的非晶形碳硬掩模、制备经硼掺杂的非晶形碳硬掩模的方法、使用所述经硼掺杂的非晶形碳硬掩模的方法及包含所述经硼掺杂的非晶形碳硬掩模的装置。

公开(公告)号：CN112956000A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980070788.4

申请日：2019-10-21

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： A·优维斯 ,  S·E·毕夏普

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L21/324

Abstract: 本发明描述经硼掺杂的非晶形碳硬掩模、制备经硼掺杂的非晶形碳硬掩模的方法、使用所述经硼掺杂的非晶形碳硬掩模的方法及包含所述经硼掺杂的非晶形碳硬掩模的装置。