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公开(公告)号：CN104160721A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201380011962.0
申请日：2013-03-15
Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司
CPC classification number: H01L29/84 , B06B1/0292 , G01N29/2406 , H01L27/0805 , H01L29/94
Abstract: 一种高频电容性微加工超声换能器(CMUT)(300)具有硅膜(320)以及上覆的金属硅化物层(326)，它们一起形成能够在腔(322)上方振动的导电结构。CMUT还具有金属结构(330)，其接触一组导电结构。金属结构具有开口(334)，其完全延伸穿过金属结构以暴露导电结构。
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