用于封装的垂直半导体器件的图案化管芯焊盘

    公开(公告)号:CN110459484B

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN201910374896.2

    申请日:2019-05-07

    Abstract: 本申请涉及用于封装的垂直半导体器件的图案化管芯焊盘,并公开一种用于形成封装的半导体器件(100)的半导体器件封装的方法,该方法包括提供(i)垂直功率半导体器件管芯(120)和(ii)引线框架,该垂直功率半导体器件管芯(120)包括半导体衬底(105),包括控制节点、在衬底的顶侧上或底侧上的源极或发射极、以及在顶侧和底侧中的另一个上的漏极或集电极、在底侧上的背侧金属(BSM)层(111)。引线框架包括图案化管芯焊盘(140),该图案化管芯焊盘(140)包括公共连续基部(140a)和从基部向上延伸的间隔开的柱(141a、141b、141c、141d)的二维阵列(140b),在柱的顶部上具有单独的焊帽(146a、146b、146c、146d)。BSM层放置在焊帽上,并且回流处理将BSM层接合到焊帽。

    用于封装的垂直半导体器件的图案化管芯焊盘

    公开(公告)号:CN110459484A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201910374896.2

    申请日:2019-05-07

    Abstract: 本申请涉及用于封装的垂直半导体器件的图案化管芯焊盘,并公开一种用于形成封装的半导体器件(100)的半导体器件封装的方法,该方法包括提供(i)垂直功率半导体器件管芯(120)和(ii)引线框架,该垂直功率半导体器件管芯(120)包括半导体衬底(105),包括控制节点、在衬底的顶侧上或底侧上的源极或发射极、以及在顶侧和底侧中的另一个上的漏极或集电极、在底侧上的背侧金属(BSM)层(111)。引线框架包括图案化管芯焊盘(140),该图案化管芯焊盘(140)包括公共连续基部(140a)和从基部向上延伸的间隔开的柱(141a、141b、141c、141d)的二维阵列(140b),在柱的顶部上具有单独的焊帽(146a、146b、146c、146d)。BSM层放置在焊帽上,并且回流处理将BSM层接合到焊帽。

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